基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，具有这样的特征，包括：检测室，用于容纳待测气体；以及检测单元，其中，检测单元包括，激光器，用于输出超短脉冲激光信号，耦合器，至少具有第一端点、第二端点以及第三端点，第一端点与激光器连接，用于实现超短脉冲激光信号分路，第一光纤，与耦合器的第二端点连接，太赫兹波源，与第一光纤连接，用于利用超短脉冲激光信号向检测室发射太赫兹波，脉冲电源，与太赫兹波源连接，第二光纤，与耦合器的第三端点连接，延迟线，与第二光纤连接，太赫兹波探测器，与延迟线连接，用于接收穿过待测气体的太赫兹波并得到光电流值。

Terahertz time-domain spectroscopy based device for detecting mixed gas content

The invention provides a device for detecting the components of a mixture of gases based on the terahertz time-domain spectrum, which includes: a detection room for accommodating the gas to be measured; and a detection unit, wherein the detection unit includes a laser for output ultrashort pulse laser signals, a coupler, at least having a third. One end point, second end point, and third endpoint, the first endpoint is connected with the laser to realize the ultrashort pulse laser signal separation. The first fiber is connected to the second end of the coupler, the terahertz wave source is connected with the first fiber, and is used to transmit the terahertz wave to the detection room using the ultrashort pulse laser signal to the detection room. In connection with the terahertz wave source, the second fiber is connected to the third endpoint of the coupler, the delay line, and the second fiber connection. The terahertz wave detector is connected with the delay line to receive the terahertz wave through the gas to be measured and get the photoelectric value.

【技术实现步骤摘要】
基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置
本专利技术涉及一种气体检测装置，具体涉及一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置。
技术介绍
现有技术中，检测混合气体中各组含量的方法有两种，一是通过气相色谱法检测，二是通过红外光谱法进行检测。而气相色谱法需要大量的样本，以及巨大的痕量分析，并且气相色谱检测装置在使用时必须进行校准，操作起来也比较繁琐。红外光谱法对于混合气体进行定量检测存在分辨率不高，装置体积庞大、稳定性差等问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置。本专利技术提供了一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，具有这样的特征，包括：检测室，用于容纳待测气体；以及检测单元，用于向检测室发射太赫兹波，接收穿过待测气体的太赫兹波并得到光电流值，其中，检测单元包括，激光器，用于输出超短脉冲激光信号，耦合器，至少具有第一端点、第二端点以及第三端点，第一端点与激光器连接，用于实现超短脉冲激光信号分路，第一光纤，与耦合器的第二端点连接，用于传输分路后的超短脉冲激光信号，太赫兹波源，与第一光纤连接，用于利用超短脉冲激光信号向检测室发射太赫兹波，脉冲电源，与太赫兹波源连接，第二光纤，与耦合器的第三端点连接，用于传输分路后的超短脉冲激光信号，延迟线，与第二光纤连接，用于延迟超短脉冲激光信号，太赫兹波探测器，与延迟线连接，用于接收穿过待测气体的太赫兹波并得到光电流值。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，激光器为飞秒光纤激光器，该飞秒光纤激光器的输出光中心波长为1550nm，脉冲宽度为100fs，重复频率为100MHz。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，耦合器分配到两根光纤的超短脉冲激光的功率均为100mW。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，光纤为单模光纤。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，太赫兹波源为带状线天线，由InGaAs/InAlAs多层异质结材料制成，太赫兹波探测器为带状线天线，由InGaAs/InAlAs多层异质结材料制成。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，太赫兹波源能发射的太赫兹波的频率范围为0～3THz，太赫兹波探测器能接收的太赫兹波的频率范围为0～3THz。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，脉冲电源为太赫兹波源提供3kHz的25V偏压。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，检测单元还包括锁相放大器，该锁相放大器用于放大光电流值并记录放大结果。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征：其中，检测室包括进气泵、排气泵、气压计以及湿度计。在本专利技术提供的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置中，还可以具有这样的特征，还包括：第一抛物面镜，用于改变太赫兹波源发射的太赫兹波的传输方向，使太赫兹波聚焦到检测室内，第二抛物面镜，用于改变穿过待测气体的太赫兹波的传输方向，使穿过的太赫兹被太赫兹波探测器接收。专利技术的作用与效果根据本专利技术所涉及的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，因为具有检测单元，该检测单元包括激光器、耦合器、第一光纤、太赫兹波源、脉冲电源、第二光纤、延迟线以及太赫兹波探测器。所以通过检测单元可以发射太赫兹波以及接收穿过待测气体的太赫兹波进而得到光电流值，对光电流值进行处理即可得出混合气体各组分的百分含量。由于使用太赫兹波法进行检测，也就是说气体的识别是基于光谱模式、吸收强度以及频率(频段)，所以该装置的检测特异性好、精度高。此外该装置与现有的气体检测装置相比，体积明显减小，并且机械稳定性大大提高。该装置不需要进行日常校准即可正常工作，所以相比于气相色谱装置操作简单。附图说明图1是本专利技术的实施例中基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置的结构示意图；图2是本专利技术的实施例中混合气体二阶导数光谱与指纹库对比示意图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本专利技术基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置作具体阐述。图1是本专利技术的实施例中基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置的结构示意图。如图1所示，基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置100包括检测室10、加热器20、检测单元30、第一抛物面镜40以及第二抛物面镜50。检测室10用于容纳待测气体，包括进气泵11、排气泵12、气压计13以及湿度计14。在本实施例中，检测室10容积为0.2732L。在本实施例中，检测室10对太赫兹波具有高透过性。在本实施例中，待测气体可以是纯净气体，也可以是混合气体。进气泵11用于向检测室10内泵入气体，该气体包括用于排空气的氮气以及用于检测的待测气体。排气泵12用于排出检测室10内的气体。气压计13用于测量检测室10内的压强。湿度计14用于于测量检测室10内的湿度。加热器20设置在检测室10的旁边，用于对检测室10进行加热使其保持恒定温度。在本实施例中，加热器20使检测室10内温度恒为333.15K。检测单元30包括激光器31、耦合器32、第一光纤33、太赫兹波源34、脉冲电源35、第二光纤36、延迟线37、太赫兹波探测器38以及锁相放大器39。激光器31用于输出超短脉冲激光信号。在本实施例中，激光器31为激光器为飞秒光纤激光器，该飞秒光纤激光器输出的超短脉冲激光信号的中心波长为1550nm，脉冲宽度为100fs，重复频率为100MHz。耦合器32至少具有三个端点。在本实施例中，耦合器32具有第一端点、第二端点以及第三端点。耦合器32的第一端点与激光器31连接，用于实现超短脉冲激光信号分路。第一光纤33与耦合器32的第二端点连接，用于传输分路后的超短脉冲激光信号。在本实施例中，第一光纤33传输的超短脉冲激光信号的功率为100mW。在本实施例中，第一光纤33为单模光纤，并且其内部存在的色散可以与飞秒光纤激光器内含有的固定色散补偿相对应。太赫兹波源34一端与第一光纤33连接，另一端与脉冲电源35连接。脉冲电源35用于为太赫兹波源34提供偏压。在本实施例中，脉冲电源35提供3kHz的25V偏压。太赫兹波源34利用超短脉冲激光信号结合脉冲电源35提供的偏压激发出太赫兹波，并向外传播。在本实施例中，太赫兹波源34为带状线天线，并且由InGaAs/InAlAs多层异质结材料制成。第一抛物面镜40设置在太赫兹波源34与检测室10之间，用于改变太赫兹波的传输方向，使太赫兹波聚焦到检测室10内，从而与检测室10内的待测气体产生共振。第二光纤36与耦合器32的第三端点连接。第二光纤36与第一光纤33结构和功能相似。在本实施例中，第二光纤36传输的超短脉冲激光信号的功率同样为100mW。延迟线37一端与第二光纤3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，其特征在于，包括：检测室，用于容纳待测气体；以及检测单元，用于向所述检测室发射太赫兹波，接收穿过所述待测气体的所述太赫兹波并得到光电流值，其中，所述检测单元包括，激光器，用于输出超短脉冲激光信号，耦合器，至少具有第一端点、第二端点以及第三端点，所述第一端点与所述激光器连接，用于实现所述超短脉冲激光信号分路，第一光纤，与所述耦合器的所述第二端点连接，用于传输分路后的所述超短脉冲激光信号，太赫兹波源，与所述第一光纤连接，用于利用所述超短脉冲激光信号向所述检测室发射太赫兹波，脉冲电源，与所述太赫兹波源连接，第二光纤，与所述耦合器的所述第三端点连接，用于传输分路后的所述超短脉冲激光信号，延迟线，与所述第二光纤连接，用于延迟所述超短脉冲激光信号，太赫兹波探测器，与所述延迟线连接，用于接收穿过所述待测气体的所述太赫兹波并得到光电流值。

【技术特征摘要】
1.一种基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，其特征在于，包括：检测室，用于容纳待测气体；以及检测单元，用于向所述检测室发射太赫兹波，接收穿过所述待测气体的所述太赫兹波并得到光电流值，其中，所述检测单元包括，激光器，用于输出超短脉冲激光信号，耦合器，至少具有第一端点、第二端点以及第三端点，所述第一端点与所述激光器连接，用于实现所述超短脉冲激光信号分路，第一光纤，与所述耦合器的所述第二端点连接，用于传输分路后的所述超短脉冲激光信号，太赫兹波源，与所述第一光纤连接，用于利用所述超短脉冲激光信号向所述检测室发射太赫兹波，脉冲电源，与所述太赫兹波源连接，第二光纤，与所述耦合器的所述第三端点连接，用于传输分路后的所述超短脉冲激光信号，延迟线，与所述第二光纤连接，用于延迟所述超短脉冲激光信号，太赫兹波探测器，与所述延迟线连接，用于接收穿过所述待测气体的所述太赫兹波并得到光电流值。2.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，其特征在于：其中，所述激光器为飞秒光纤激光器，该飞秒光纤激光器的输出光中心波长为1550nm，脉冲宽度为100fs，重复频率为100MHz。3.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，其特征在于：其中，所述耦合器分配到两根所述光纤的所述超短脉冲激光的功率均为100mW。4.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域光谱检测混合气体各组分含量的装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈麟，殷恒辉，杨冰洋，杨洁，朱亦鸣，臧小飞，谢静雅，程庆庆，庄松林，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海,31