气浮轴承模块制造技术

本发明专利技术公开一种气浮轴承模块，包括导轨、滑块、第一气浮板及第二气浮板。导轨具有第一表面及第二表面。滑块具有沟槽、第一内壁面及第二内壁面，导轨穿设于沟槽，以使滑块适于相对导轨滑动。第一气浮板位在第一表面与第一内壁面之间，第一气浮板与第一内壁面之间存在第一气腔，第一气浮板与第一表面之间存在第一气浮间隙。第二气浮板位在第二表面与第二内壁面之间，第二气浮板与第二内壁面之间存在第二气腔，第二气浮板与第二表面之间存在第二气浮间隙。本发明专利技术在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整。

【技术实现步骤摘要】
气浮轴承模块
本专利技术涉及一种气浮轴承模块，且特别是有关于一种可微型化、可高精密的动态调整且具有高刚性的气浮轴承模块。
技术介绍
随着工业技术的发展，非接触式轴承模块已实际应用在众多领域中。非接触式轴承模块以气浮轴承模块为例，其在导轨与滑块之间充入空气，而在导轨与滑块之间形成气膜(空气层)。如此一来，导轨与滑块在滑动过程中便不会直接接触，避免于滑动时导轨与滑块摩擦，而降低了元件损耗的机率。目前，传统的气浮轴承模块若是使用螺丝去调整导轨与滑块之间的气浮间隙，受限于螺丝尺寸，气浮轴承模块难以微型化，亦或者无法进行高精密的动态调整。此外，若滑块或导轨在不同区域存在尺寸上的公差时，滑块与不同区域的导轨之间气浮间隙会忽大忽小，使得位在导轨与滑块之间的气浮间隙内的气膜无法维持高刚性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气浮轴承模块，使其在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整，且可在导轨与滑块之间提供高刚性的气膜。为实现上述目的，本专利技术提供一种气浮轴承模块，包括一导轨、一滑块、一第一气浮板及一第二气浮板。导轨具有一第一表面及一第二表面。滑块具有一沟槽以及紧邻沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，导轨穿设于沟槽中，以使滑块适于相对导轨滑动，其中第一内壁面朝向第一表面，第二内壁面朝向第二表面。第一气浮板设置于沟槽内，并位在导轨的第一表面与滑块的第一内壁面之间，第一气浮板与滑块的第一内壁面之间存在一第一气腔，第一气浮板与导轨的第一表面之间存在一第一气浮间隙。第二气浮板设置于沟槽内，并位在导轨的第二表面与滑块的第二内壁面之间，第二气浮板与滑块的第二内壁面之间存在一第二气腔，第二气浮板与导轨的第二表面之间存在一第二气浮间隙。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包含一第一气流通道、一第二气流通道、一第三气流通道及一第四气流通道，第一气流通道连通至第一气浮间隙，第二气流通道连通至第一气腔，第三气流通道连通至第二气浮间隙，第四气流通道连通至第二气腔，第二气流通道与第四气流通道独立于彼此。在本专利技术的一实施例中，上述的第一气流通道与第二气流通道设置于第一气浮板，第三气流通道与第四气流通道设置于第二气浮板。在本专利技术的一实施例中，上述的第一气流通道设置于第一气浮板，第二气流通道设置于滑块，第三气流通道设置于第二气浮板，第四气流通道设置于滑块。在本专利技术的一实施例中，上述的第一气浮板包括一第一凹陷气路，第一凹陷气路朝向导轨的第一表面设置且连通于第一气流通道，第二气浮板包括一第二凹陷气路，第二凹陷气路朝向导轨的第二表面设置且连通于第三气流通道。在本专利技术的一实施例中，上述的导轨的第一表面邻接于第二表面。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包括一第一挠性环及一第二挠性环。第一挠性环配置于第一气浮板与滑块的第一内壁面之间，第一气腔位于第一气浮板、滑块的第一内壁面与第一挠性环所环绕的范围之内。第二挠性环配置于第二气浮板与滑块的第二内壁面之间，第二气腔位于第二气浮板、滑块的第二内壁面与第二挠性环所环绕的范围之内。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包括一第三气浮板，设置于沟槽内，其中导轨更具有一第三表面，第三表面位于第一表面与第二表面之间，滑块具有朝向第三表面的一第三内壁面，第三气浮板位在导轨的第三表面与滑块的第三内壁面之间，第三气浮板与滑块的第三内壁面之间存在一第三气腔，第三气浮板与导轨的第三表面之间存在一第三气浮间隙。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包含独立于彼此的一第五气流通道及一第六气流通道，第五气流通道连通至第三气浮间隙，第六气流通道连通至第三气腔。在本专利技术的一实施例中，上述的第五气流通道与第六气流通道分别设置于第三气浮板。在本专利技术的一实施例中，上述的第五气流通道设置于第三气浮板，第六气流通道设置于滑块。在本专利技术的一实施例中，上述的第三气浮板包括一第三凹陷气路，第三凹陷气路朝向导轨的第三表面设置且连通于第五气流通道。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包括一第三挠性环，配置于第三气浮板与滑块的第三内壁面之间，第三气腔位于第三气浮板、滑块的第三内壁面与第三挠性环所环绕的范围之内。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块包括多个第一气浮板，彼此独立且并排地配置于导轨的第一表面与滑块的第一内壁面之间，这些第一气浮板对导轨的第一表面的投影不重叠，这些第一气腔彼此独立。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包含多个第一气流通道及多个第二气流通道，这些第二气流通道独立于彼此且分别连通至这些第一气腔。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块包括多个第二气浮板，彼此独立且并排地配置于导轨的第二表面与滑块的第二内壁面之间，这些第二气浮板对导轨的第二表面的投影不重叠，这些第二气腔彼此独立。在本专利技术的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包含多个第三气流通道及多个第四气流通道，这些第四气流通道独立于彼此且分别连通至这些第二气腔。本专利技术的气浮轴承模块，其在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整，且可在导轨与滑块之间提供高刚性的气膜。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1是依照本专利技术的一实施例的一种气浮轴承模块的示意图。图2与图3分别是图1的气浮轴承模块隐藏导轨之后的不同视角的爆炸示意图。图4是图1的气浮轴承模块隐藏导轨与滑块的第一部分的另一视角的示意图。图5与图6分别是沿图1的气浮轴承模块的A-A线段与B-B线段的剖面示意图。图7是依照本专利技术的另一实施例的一种气浮轴承模块的示意图。图8是图7的气浮轴承模块隐藏导轨之后的爆炸示意图。图9至图11分别是沿图7的气浮轴承模块的C-C线段、D-D线段与E-E线段的剖面示意图。图12是依照本专利技术的另一实施例的一种气浮轴承模块的示意图。其中，附图标记：100、100a、100b：气浮轴承模块110：导轨112：第一表面114：第二表面116：第三表面118：第四表面120：滑块121：第一部分122：第一内壁面123：第二部分124：第二内壁面125：第三部分126：第三内壁面127：第四部分128：第四内壁面129：沟槽130：第一气浮板131：第一凹陷气路132：第二气浮板133：第二凹陷气路134：第三气浮板135：第三凹陷气路140：第一气浮间隙142：第二气浮间隙144：第三气浮间隙146：第四气浮间隙150：第一挠性环152：第二挠性环154：第三挠性环160：第一气腔162：第二气腔164：第三气腔170、170a：第一气流通道171、171a：第二气流通道172、172a：第三气流通道173、173a：第四气流通道174、174a：第五气流通道175、175a：第六气流通道176：第七气流通道180：第一垫圈182：第二垫圈184：第三垫圈具体实施方式图1是依照本专利技术的一实施例的一种气浮轴承模块的示意图。图2与图3分别是图1的气浮轴承模块隐藏导轨之后的不同视角的爆炸示意图。请参阅图1至图3，本实施例的气浮轴承模块100包括导轨110、滑块120、第一气浮板130(标示于图2)、第二气浮板132(标示于图2)及第三气浮板134(标示于图2)。导轨110具有第一表面112、第二表面114、第三表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：一导轨，具有一第一表面及一第二表面；一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该第二气浮板与该导轨的该第二表面之间存在一第二气浮间隙。

【技术特征摘要】
2017.09.06 TW 1061304161.一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：一导轨，具有一第一表面及一第二表面；一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该第二气浮板与该导轨的该第二表面之间存在一第二气浮间隙。2.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包含一第一气流通道、一第二气流通道、一第三气流通道及一第四气流通道，该第一气流通道连通至该第一气浮间隙，该第二气流通道连通至该第一气腔，该第三气流通道连通至该第二气浮间隙，该第四气流通道连通至该第二气腔，该第二气流通道与该第四气流通道独立于彼此。3.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道与该第二气流通道设置于该第一气浮板，该第三气流通道与该第四气流通道设置于该第二气浮板。4.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道设置于该第一气浮板，该第二气流通道设置于该滑块，该第三气流通道设置于该第二气浮板，该第四气流通道设置于该滑块。5.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气浮板包括一第一凹陷气路，该第一凹陷气路朝向该导轨的该第一表面设置且连通于该第一气流通道，该第二气浮板包括一第二凹陷气路，该第二凹陷气路朝向该导轨的该第二表面设置且连通于该第三气流通道。6.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，该导轨的该第一表面邻接于该第二表面。7.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包括：一第一挠性环，配置于该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气腔位于该第一气浮板、该滑块的该第一内壁面与该第一挠性环所环绕的范围之内；以及一第二挠性环，配置于该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣井，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71