分光测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能减少由光纤的弯曲所产生的测定误差并且提高供给至分光测定部的光的光量的分光测定装置。分光测定装置具备：分光测定部，对通过狭缝射入的光进行分光测定；以及光漫射单元，使从多个光纤供给的光漫射，以漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入所述狭缝的方式相对于所述狭缝进行物理固定。

Spectrophotometric device

The present invention provides a spectrophotometric device that reduces the measurement error generated by the bending of the optical fiber and increases the light amount of light supplied to the spectrometric measurement unit. Spectrophotometric device includes: spectrophotometric, through slit incident light beam splitter determination; and a light diffusing unit made from light diffusing multiple fiber supply, in order to diffuse the light directly or through the lens or mirror into the slit way relative to the fixed slit of physics.

【技术实现步骤摘要】
分光测定装置
本专利技术涉及一种分光测定装置。
技术介绍
专利文献1中公开了如下内容：从光纤射出的光的配光分布因光纤的弯曲而变动，由此可能产生测定误差，为了解决该问题而使用积分球来作为使多个光纤光学耦合的光纤耦合器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5643983号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题再者，在专利文献1中，来自光源的光通过入射侧光纤被引导至积分球，从积分球射出的光通过出射侧光纤被引导至分光测定器。因此，即使能减少由入射侧光纤的弯曲所产生的测定误差，也无法减少由出射侧光纤的弯曲所产生的测定误差。此外，通过多个入射侧光纤而被引导至积分球的光通过一条出射侧光纤从积分球被引导至分光测定器，因此，恐怕无法在分光测定器得到足够的光量。本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能减少由光纤的弯曲所产生的测定误差并且提高供给至分光测定部的光量的分光测定装置。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的分光测定装置具备：分光测定部，对通过狭缝射入的光进行分光测定；以及光漫射单元，使从多个光纤供给的光漫射，以漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入所述狭缝的方式相对于所述狭缝进行物理固定。此外，所述分光测定装置可以还具备限制朝向所述狭缝的所述漫射后的光的光束的光阑。此外，所述分光测定装置可以还具备将光供给至所述光漫射单元的所述多个光纤。此外，所述光漫射单元可以具备射出所述漫射后的光的出射部且所述狭缝与所述出射部对置。在本专利技术的一方案中，可以是：所述光漫射单元是漫射板，从所述多个光纤供给的光射入所述漫射板的一方的面，所述漫射后的光从所述漫射板的另一方的面射出。此外，所述多个光纤的出射端可以以偏离于穿过所述狭缝的光轴的方式配置。此外，所述多个光纤的出射端可以从偏离于穿过所述狭缝的光轴的位置向朝向所述狭缝的方向射出光。此外，所述多个光纤的出射端可以配置为围绕穿过所述狭缝的光轴。在本专利技术的一方案中，所述光漫射单元可以是使从所述多个光纤供给的光在球状的内壁面漫反射并且供所述漫射后的光从检测窗射出的积分球。需要说明的是，在本专利技术中，将“积分球”这个词用于以下含义：广泛地包含完整球状、半球状、1/8球状等使入射光在球状的内壁面漫反射的装置。在本专利技术的一方案中，所述分光测定装置还可以具备遮光切换单元，所述遮光切换单元将来自从所述多个光纤中所选择的一部分光纤的光供给至所述光漫射单元，并遮住来自剩余的光纤的光。此外，可以是：所述多个光纤的出射端以偏离于穿过所述狭缝的光轴的方式配置，所述遮光切换单元具备方向变换单元，所述方向变换单元以使来自所述一部分光纤的光从穿过所述狭缝的光轴上射入所述光漫射单元的方式，变换来自所述一部分光纤的光的方向。专利技术效果根据本专利技术，光漫射单元以使漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入狭缝的方式相对于狭缝进行物理固定，因此，能减少由光纤的弯曲所产生的测定误差并且提高供给至分光测定部的光量。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式的分光测定装置的构成例的示意图。图2A是表示光纤耦合部的构成例的示意图。图2B是表示光纤耦合部的构成例的示意图。图3是表示本专利技术的第二实施方式的分光测定装置的构成例的示意图。图4是表示本专利技术的第三实施方式的分光测定装置的构成例的示意图。图5是表示本专利技术的第四实施方式的分光测定装置的构成例的示意图。图6A是表示光纤切换部的构成例的示意图。图6B是表示光纤切换部的构成例的示意图。图7A是表示光纤切换部的变形例的示意图。图7B是表示光纤切换部的变形例的示意图。图8是表示本专利技术的实施方式的分光测定装置的第一应用例的示意图。图9是表示本专利技术的实施方式的分光测定装置的第二应用例的示意图。图10是表示参考例的示意图。图11是表示本专利技术的实施方式的分光测定装置的第三应用例的示意图。图12是表示本专利技术的实施方式的分光测定装置的第四应用例的示意图。附图标记说明：1分光测定装置2壳体3分光测定部32衍射光栅34线性传感器4狭缝板4a狭缝5光纤耦合部52漫射板(光漫射单元的一例)61、63聚光透镜65光阑67聚光反射镜7积分球(光漫射单元的一例)714内壁面73a检测窗8光纤切换部82、84遮光切换板(遮光切换单元的一例)86、87反射镜(方向变换单元)91、92光纤913、923出射端100双光束测定系统200反射光测定系统300透射光测定系统LA光轴具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的说明中，有时会对重复的构成标注相同附图标记并省略详细的说明。(第一实施方式)图1是表示本专利技术的第一实施方式的分光测定装置1A的构成例的示意图。图2A以及图2B是表示光纤耦合部5A的构成例的示意图。分光测定装置1A具备分光测定部3和光纤耦合部5A。分光测定部3对通过形成于狭缝板4的狭缝4a射入的光进行分光测定。分光测定部3具备使从狭缝4a射入的光衍射的衍射光栅32和接收通过衍射光栅32而衍射的光的线性传感器(linesensor)34，检测入射光的光谱。狭缝4a的长度(高度)与衍射光栅32以及线性传感器34的长度对应。作为分光测定部3，可以应用能进行分光测定的各种公知的构成。虽然在图示的例子中应用了凹面衍射光栅(concavegrating)，但是并不限于此，例如既可以应用车尔尼特纳型分光器(czerny-turnerspectrograph)，也可以应用透射型分光器(transmissivespectrograph)。虽然在图示的例子中应用了线性传感器(复式传感器(Multisensor))，但是并不限于此，例如也可以应用使用单传感器(Singlesensor)并使衍射光栅旋转来检测光谱的方式。能基于由分光测定部3检测出的光谱来进行：色度、照度、亮度、显色性这样的作为光源的特性评价；表面特性、反射特性、透射(吸收)特性这样的测定对象的光学特性的测定；以及膜厚这样的测定对象的物理特性的测定等。光纤耦合部5A使多个光纤91、92光学耦合。光纤耦合部5A具备漫射板52、聚光透镜61以及光阑65，使从多个光纤91、92供给的光耦合之后引导至狭缝4a。分光测定装置1的壳体2具备容纳分光测定部3的第一容纳部21和设有光纤耦合部5A的第二容纳部23。第二容纳部23容纳漫射板52、聚光透镜61以及光阑65。为了防止杂散光，第一容纳部21与第二容纳部23可以通过狭缝板4分隔开。光纤91、92对从入射端911、921射入的光进行传播并使光从出射端913、923射出。光纤91、92例如是捆扎有多个光纤素线的光纤束。出射端913、923被导入至容纳光纤耦合部5A的第二容纳部23的内部。出射端913、923也可以相对于第二容纳部23可拆装。漫射板52是光漫射单元的一例，例如是磨砂玻璃等表面具有微小突起的板状的透光构件。并不限于漫射板52，也可以应用光漫射膜。漫射板52使从多个光纤91、92供给的光漫射。即使从光纤91、92供给的光发生偏振，也会通过漫射板52使该光漫射来消除偏振。漫射板52配置于多个光纤91、92的出射端913、923与狭缝4a之间。漫射板52的一方的面与出射端913、923相对，漫射板52的另一方的面与狭缝4a相对。当从出射端913、923射出的光射入漫射板52的一方的面时，漫射后的光从漫本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分光测定装置，具备：分光测定部，对通过狭缝射入的光进行分光测定；以及光漫射单元，使从多个光纤供给的光漫射，以漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入所述狭缝的方式相对于所述狭缝进行物理固定。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1860501.一种分光测定装置，具备：分光测定部，对通过狭缝射入的光进行分光测定；以及光漫射单元，使从多个光纤供给的光漫射，以漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入所述狭缝的方式相对于所述狭缝进行物理固定。2.根据权利要求1所述的分光测定装置，还具备：光阑，限制朝向所述狭缝的所述漫射后的光的光束。3.根据权利要求1所述的分光测定装置，还具备：所述多个光纤，将光供给至所述光漫射单元。4.根据权利要求1所述的分光测定装置，其中，所述光漫射单元具备：出射部，射出所述漫射后的光，所述狭缝与所述出射部对置。5.根据权利要求1至4中任一项所述的分光测定装置，其中，所述光漫射单元是漫射板，从所述多个光纤供给的光射入所述漫射板的一方的面，所述漫射后的光从所述漫射板的另一方的面射出。6.根据权利要求5所述的分光测定装置，其中，所述多个光纤的...

【专利技术属性】
技术研发人员：白岩久志，
申请(专利权)人：大塚电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP