The material layer is deposited as the desired thickness by using the inkjet process. The layout data is converted to the gray value of each unit, and each gray value indicates the volume of the ink to be transported locally. The gray value is used to generate a half tone pattern used to transfer the volume (and thickness) of the variable ink to the substrate. Halftoning provides a relatively continuous layer (for example, there is no unintended gap or hole), while providing variable volume and therefore contributing variable ink / material to achieve desired thickness. Ink jet is a liquid or aerosol suspended material used to form material layer, for example, the organic material used for forming the encapsulation layer of the flat panel device. The deposited layer is then solidified or repaired in other ways to complete the process.
【技术实现步骤摘要】
制造电子设备的方法本公开要求代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年6月30号提交的美国临时申请No.62/019076"Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness"、代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年5月30号提交的美国临时申请No.62/005044“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness”、代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年4月10号提交的美国临时申请No.61/977939“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness”以及代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2013年12月12号提交的美国临时申请No.61/915,149“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoneVariation”中的每一个的优先权。特此通过引用并入前述申请。
技术介绍
各种化学和物理过程可以用于将材料沉积在衬底上。一些沉积过程依赖于图案化沉积,其中掩模或其他机制用于在精确的容差内创建纳米级特征,例如匹配诸如晶体管路径宽度的电子纳米级结构的尺寸,而其他沉积过程提供相对无特征的、大尺度沉积,诸如横跨几十微米距离或更大距离的基于覆盖层(blanket)的涂敷或沉积。存在对于其而言现有过程是次优的一类建造应用。更具体地,对于其中人们期 ...
【技术保护点】
一种制造电子器件的层的方法,其中所述层跨一个区域,所述区域具有至少一个横向边缘,所述方法包括:使用喷墨打印机来沉积液滴,所述液滴聚结以在所述区域内形成连续液体涂层;和使用固化机构来固化所述连续液体涂层以形成所述层;其中使用所述喷墨打印机来沉积所述液体液滴包括:在所述至少一个横向边缘处以第一液滴密度沉积液滴以形成用于所述层的框架,以第二液滴密度在所述框架内沉积液滴。
【技术特征摘要】
2013.12.12 US 61/915149;2014.04.10 US 61/977939;201.一种制造电子器件的层的方法,其中所述层跨一个区域,所述区域具有至少一个横向边缘,所述方法包括:使用喷墨打印机来沉积液滴,所述液滴聚结以在所述区域内形成连续液体涂层;和使用固化机构来固化所述连续液体涂层以形成所述层;其中使用所述喷墨打印机来沉积所述液体液滴包括:在所述至少一个横向边缘处以第一液滴密度沉积液滴以形成用于所述层的框架,以第二液滴密度在所述框架内沉积液滴。2.根据权利要求1所述的方法,其中所述层包括封装层、或平面化层或屏障层中的至少一个。3.根据权利要求2所述的方法,其中所述电子器件包含发光元件,且其中所述至少一个中的每一层跨所述发光元件。4.根据权利要求3所述的方法,其中所述电子器件是电子显示器,并且其中所述发光元件包括所述显示器的至少100个像素。5.根据权利要求1所述的方法,其中所述方法进一步包括使用液滴测量设备来来测量由所述至少一个喷嘴响应于电子波形产生的液滴体积,液滴轨迹或液滴速率中的至少一个。6.根据权利要求5所述的方法,其中所述液滴测量设备包括激光束,并且其中所述方法还包括使用干涉测量所述至少一个。7.根据权利要求1所述的方法,其中所述液体包含第一材料,其中所述固化机构包含辐射源,且其中所述方法进一步包括将所述连续液体涂层暴露于所述辐射源以将所述第一材料转换成第二材料。8.根据权利要求5所述的方法,其中所述第一材料是单体且所述第二材料是聚合物。9.根据权利要求5所述的方法,其中:所述方法还包括接收代表所述层的期望厚度的至少一个值;且所述第二液滴密度取决于所述至少一个值。10.根据权利要求9所述的方法,其中接收至少一个值包括接收表示在所述衬底的不同部分处的相应期望厚度的值,并且其中所述方法包括以按照代表所述相应期望厚度的接收的值改变的相应密度来沉积液滴。11.根据权利要求5所述的方法,其中:所述方法还包括接收代表所述层的期望厚度的至少一个值;以及以所述第二液滴密度在所述框架内沉积液滴包括以取决于所述至少一个值的方式使用喷嘴驱动波形来驱动打印头的喷嘴。12.根据权利要求11所述的方法,其中接收至少一个值包括接收代表在所述衬底的不同部分处的各个期望厚度的值,并且其中所述方法包括使用分别按照接收到的代表各个期望厚度的值选择的喷嘴驱动波形来沉积液滴。13.根据权利要求1所述的方法,其中以所述第一液滴密度沉积所述液滴包括使用所述喷墨打印机在受控气氛内进行打印,并且其中以所述第二液滴密度沉积所述液滴包括在受控气氛内使用所述喷墨打印机进行打印。14.根据权利要求1所述的方法,其中以所述第一液滴密度沉积液滴包括在与打印网格的节点对应的位置处发射液滴,其中以所述第二液滴密度沉积液滴也包括在与所述打印网格的节点相对应的位置处发射液滴,并且其中所述第一液滴密度对应于相对于所述打印网格的所述节点与所述至少一个横向边缘之间的位置上的重叠的最小节距处的液滴密度。15.根据权利要求14所述的方法,其中以所述第一密度沉积液滴包括以限定至少一条直线的方式沉积所述液滴。16.根据权利要求1所述的方法,其中以所述第一密度沉积液滴包括以限定至少一条直线的方式沉积所述液滴。17.根据权利要求1所述的方法,其中以所述第二液滴密度在所述框架内沉积液滴是在所述框架内的第一区域处执行的,并且所述方法进一步包括在所述框架内以第三液滴密度在所述框架内沉积液滴,所述第二区域在所述第一区域和所述至少一个横向边缘的边缘中间。18.根据权利要求17所述的方法,其中所述方法还包括根据预定算法调整所述第二液滴密度以获得所述第三液滴密度。19.根据权利要求1所述的方法,还包括:为一系列衬底中的每个相应衬底产生所述层,并且使用所述喷墨打印机以按照用于每个相应衬底的共同扫描图案和共用喷嘴触发图案来打印所述液体...
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