【技术实现步骤摘要】
一种光电检测装置高度调节机构
本技术涉及一种光电领域设备,尤其涉及一种光电检测装置高度调节机构。
技术介绍
光电检测装置是一种高精密检测设备,对检测精度要求较高,在检测过程中经常会由于高度要求需要调节检测装置的高度,而高度调节机构也会对检测结果有很重要的影响,因此对检测设备中所用到的高度调节机构的精度也有较高要求。现有的高度调节机构大多为宏观调节的机构,即通过传统的齿轮传动、带传动和滚珠丝杠传动等方式进行调节,这样的传动方式可以实现较大行程的调节,但由于存在装配误差且行程较大等,也会导致比较大的绝对误差,从而影响检测装置的最终检测精度。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光电检测装置高度调节机构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:本技术包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统,所述宏位移调节系统设置在基座上,所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上,所述基座上设置有支撑台和控制面板,支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器,所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接。进一步,所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器,所述伺服电机和电机控制器设置在基座上,伺服电机与电机控制器相连接,电机控制器与控制面板连接,伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接,滚珠丝杠上设置有滚珠螺母,滚珠螺母下端设置有宏位移感应片,所述宏位移感应片与支撑台上设置的宏位移传感器相对应。进一步,所述微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器,所述滚珠螺母上设置有支撑 ...
【技术保护点】
一种光电检测装置高度调节机构,其特征在于:包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统,所述宏位移调节系统设置在基座上,所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上,所述基座上设置有支撑台和控制面板,支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器,所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接;所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器,所述伺服电机和电机控制器设置在基座上,伺服电机与电机控制器相连接,电机控制器与控制面板连接,伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接,滚珠丝杠上设置有滚珠螺母,滚珠螺母下端设置有宏位移感应片,所述宏位移感应片与支撑台上设置的宏位移传感器相对应;所述微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器,所述滚珠螺母上设置有支撑杆,支撑杆上设置有压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器与压电陶瓷驱动器控制器连接,压电陶瓷驱动器控制器与控制面板连接,所述压电陶瓷驱动器上设置有工作台,所述工作台下端设置有微位移感应片,所述微位移感应片与支撑台上设置的微位移传感器相对应。
【技术特征摘要】
1.一种光电检测装置高度调节机构,其特征在于:包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统,所述宏位移调节系统设置在基座上,所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上,所述基座上设置有支撑台和控制面板,支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器,所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接;所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器,所述伺服电机和电机控制器设置在基座上,伺服电机与电机控制器相连接,电机控制器与控制面板连接,伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接,滚珠丝杠上设置有滚珠螺母,滚珠螺母下端设置有宏位移感应片,所述宏位移感应片与支撑台上设...
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