一种高压屏蔽仓制造技术

本发明专利技术属于高压型加速器高压屏蔽技术领域，具体涉及一种高压屏蔽仓，用于对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽，包括可拆卸的金属材质的框架结构和可拆卸的设置在所述框架结构上的金属管(4)，所述金属管(4)在所述框架结构的各个外表面上构成能够屏蔽高压的屏蔽阵列，还包括设置在所述屏蔽阵列上的预留通道，组合后的所述框架结构、屏蔽阵列笼罩于所述高电位设备的外围。通过采用可拆卸的金属管来组成屏蔽阵列，且金属管均可单独拆装，无需再预留专用的检修通道，当高压屏蔽仓内的被屏蔽设备需安装或检修时只需拆下人员和设备进入处的若干根金属管即可实现；在安装或检修活动完成后，只需重新将金属管安装上即可。

A high pressure shielded silo

The invention belongs to the technical field of high voltage high voltage accelerator shielding, in particular relates to a high pressure chamber for shielding, shielding of high potential equipment of high voltage accelerator or ion implantation machine, including the frame structure of metal material detachable and removable arranged on the frame structure of the metal tube (4), the the metal tube (4) in the outer surface of the frame structure which can shield electromagnetic shielding array, including setting the reserved channel in the shield array, after the combination of the frame structure, shielding the high potential array over the peripheral equipment. Through the use of removable metal tube to form a shield array, and the metal pipe can be disassembled and assembled separately, no need to reserve special maintenance channel, when the pressure chamber is shielding a plurality of metal shielding devices need to install or repair to remove personnel and equipment into the tube can be realized; complete the installation or maintenance activities, only needs to be installed on the metal tube can be.

【技术实现步骤摘要】
一种高压屏蔽仓
本专利技术属于高压型加速器高压屏蔽
，具体涉及一种高压屏蔽仓。
技术介绍
高压型加速器是让带电粒子束一次或多次通过直流高压电源产生的电场而获得加速的装置，可用于原子核实验、放射性医学、放射性化学、放射性同位素的制造、非破坏性探伤等。离子注入机同样也具有加速器设备(具体由离子源、加速器、透镜、扫描系统和靶室等组成)，离子注入机可用于半导体工业的杂质掺杂而取代热扩散的老工艺。使半导体器件的成品率和各项性能指标大大提高。在高压型加速器和离子注入机内部均设有相应的高压设备，由于功能使用的要求，会有数量众多、形态各异的设备布置在高电位上，这些处于高电位设备的局部尖端等对外界的空间关系极易导致高压局部放电的发生，而这种放电现象不仅会严重影响整个加速器的稳定运行，而且高压放电过程中的瞬间电流甚至导致设备不可恢复的损伤。因此，在高压型加速器和离子注入机中，为了减少设备高压打火实现高压型加速器或注入机的稳定运行，常常要将处于高电位的设备整体放在高压屏蔽仓内，同时为了便于对高压屏蔽仓内的设备的安装和检修，需要在设计中单独考虑在高压屏蔽仓上预留通道或活动门。现有的高压屏蔽仓的结构通常采用金属板或网进行搭建，在相连板或网的接缝处、板或网与屏蔽仓顶点圆角、屏蔽仓横梁和屏蔽仓立柱间的接缝处容易出现尖端，预留通道或活动门与高压屏蔽仓的接缝处由于重复开闭也易于出现尖端。如果不对这些尖端进行处理则会大大增加高压打火发生的概率，严重影响高压型加速器或注入机的稳定运行。
技术实现思路
针对现有的通过金属板、金属网作为高压屏蔽仓的屏蔽结构的弊端，本专利技术的目的是设计一种没有尖锐凸起，方便对被屏蔽设备进行检修的高压屏蔽仓。为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是一种高压屏蔽仓，用于对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽，其中，包括可拆卸的金属材质的框架结构和可拆卸的设置在所述框架结构上的金属管，所述金属管在所述框架结构的各个外表面上构成能够屏蔽高压的屏蔽阵列，还包括设置在所述屏蔽阵列上的预留通道，组合后的所述框架结构、屏蔽阵列笼罩于所述高电位设备的外围。进一步，所述框架结构包括若干个顶点组件和若干根框架梁柱，每个所述顶点组件能够连接若干根所述框架梁柱，所述框架梁柱为圆柱形，所述顶点组件与所述框架梁柱的一端相连，所述框架梁柱通过所述顶点组件连接构成所述框架结构。进一步，所述顶点组件通过连接器与所述框架梁柱的一端相连，所述连接器为环形，表面及边沿均无尖锐凸起，所述连接器的所述边沿设有防止高压打火的倒角或者圆角。更进一步，所述顶点组件由圆柱状管材通过弯制和连接制成，所述顶点组件外表面及弯角均为圆滑表面没有尖锐凸起。进一步，所述框架梁柱上设有阵列排列的安装孔，所述金属管通过所述安装孔，成阵列状设置在所述框架梁柱构成的所述外表面上，构成所述屏蔽阵列。更进一步，所述预留通道设置在所述屏蔽阵列上，包括电缆管道和束流设备通道，通过在所述屏蔽阵列上设置相应的圆形开孔、并在所述开孔处设置环形平板实现，所述环形平板的直径与所述开空的直径相适应，并与构成所述圆形开孔的所述金属管相连；所述环形平板为金属材质，且表面及边沿均无尖锐凸起，并且边沿设有防止高压打火的倒角或者圆角。进一步，所述电缆管道上还包括通过所述环形平板穿设在所述屏蔽阵列上的金属材质的线缆圆管，所述线缆圆管的表面及边沿均无尖锐凸起，并且边沿设有防止高压打火的倒角或者圆角。进一步，所述框架结构为立方体，所述框架梁柱包括立柱和横梁；所述顶点组件由一根弯曲成90度的弯管和一根直管构成，所述弯管连接两根所述横梁，所述直管连接一根所述立柱，连接在同一个所述顶点组件的所述立柱、横梁之间的角度均为90度；所述安装孔等距离均匀排列在所述横梁一侧。更进一步，所述横梁、顶点组件采用直径200mm的金属管制作；所述顶点组件上的所述90度弯管的弯曲半径为300mm；所述立柱采用直径168mm的金属管制作；所述金属管的直径为40mm，屏蔽阵列中的所述金属管之间的间距为100mm；组装完毕的所述高压屏蔽舱长4800mm、宽3600mm、高2720mm。本专利技术的有益效果在于：通过采用可拆卸的金属管来组成屏蔽阵列，且金属管均可单独拆装，无需再预留专用的检修通道，当高压屏蔽仓内的被屏蔽设备需安装或检修时，只需拆下人员和设备进入处的若干根金属管即可实现；在安装或检修活动完成后，只需重新将金属管安装上即可，不会对高压屏蔽效果造成影响。附图说明图1是本专利技术具体实施方式所述高压屏蔽仓的示意图；图中：1-横梁，2-顶点组件(2)，3-立柱，4-金属管，5-线缆圆管，6-束流设备通道，7-连接器，8-环形平板。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步描述。本专利技术提供的一种高压屏蔽仓(如图1所示)，用于对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽，由金属质地的框架结构和金属管4组成，其中，框架结构为可拆卸的结构，金属管4也是通过可拆卸的方式设置在框架结构上。金属管4在框架结构的各个外表面上以阵列方式排列，这些金属管阵列就构成了能够屏蔽高压的屏蔽阵列。组合后的框架结构、屏蔽阵列笼罩于高电位设备的外围，实现对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽的作用。在框架结构的屏蔽阵列上，根据实际需要设置有不同规格的预留通道，用于被屏蔽的高电位设备的各种管线连接以及与高压屏蔽仓外部设备的连接。框架结构由若干个顶点组件2和若干根框架梁柱构成，每个顶点组件2能够连接若干根框架梁柱，框架梁柱为圆柱形金属管材，表面无尖锐凸起(防止高压打火)，每个顶点组件2与框架梁柱的一端相连，框架梁柱通过顶点组件2连接构成框架结构。(也就是说每个顶点组件2都是若干根框架梁柱的一端汇集的一个点)。其中，框架梁柱上设有阵列排列的安装孔，金属管4通过安装孔，成阵列状设置在框架梁柱构成的外表面上，构成屏蔽阵列。在本专利技术中，框架结构为立方体，框架梁柱包括立柱3和横梁1两种(其中，横梁1又分为长短不同的两种，分别构成立方体的“长”和“宽”)。也可以根据屏蔽对象的需要对框架结构进行调整(不同的框架梁柱和连接不同框架梁柱数量的顶点组件2)，构成各种多面体，在多面体的各个外表面上设置相应的屏蔽阵列，从而形成各种屏蔽仓，满足屏蔽对象的需要。顶点组件2由圆柱状管材通过弯制和连接制成，顶点组件2外表面及弯角均为圆滑表面没有尖锐凸起。在本专利技术中，顶点组件2具体是由一根弯管和一根直管构成，其中弯管被加工成90度圆角，弯管连接两根横梁1，直管连接一根立柱3，连接在同一个顶点组件2上的立柱3、横梁1之间的角度均为90度；安装孔等距离均匀排列在横梁1一侧。在本专利技术所提供的高压屏蔽仓中，横梁1、顶点组件2采用直径200mm的金属管制作；顶点组件2上的90度圆角弯管的弯曲半径为300mm；立柱3采用直径168mm的金属管制作；金属管4的直径为40mm，屏蔽阵列中的金属管4之间的间距为100mm；组装完毕的高压屏蔽舱长4800mm、宽3600mm、高2720mm。安装孔的间距(即屏蔽阵列中的金属管4之间的间距)和金属管4的直径、顶点组件2的弯管的弯曲半径可以依据电压差的大小、屏蔽的要求选定，利用金属管4自身的光滑表面避免出现面对地电位的尖端从而有效减少高压打火发生概率。顶点组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高压屏蔽仓，用于对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽，其特征是：包括可拆卸的金属材质的框架结构和可拆卸的设置在所述框架结构上的金属管(4)，所述金属管(4)在所述框架结构的各个外表面上构成能够屏蔽高压的屏蔽阵列，还包括设置在所述屏蔽阵列上的预留通道，组合后的所述框架结构、屏蔽阵列笼罩于所述高电位设备的外围。

【技术特征摘要】
1.一种高压屏蔽仓，用于对高压型加速器或者离子注入机的高电位设备进行屏蔽，其特征是：包括可拆卸的金属材质的框架结构和可拆卸的设置在所述框架结构上的金属管(4)，所述金属管(4)在所述框架结构的各个外表面上构成能够屏蔽高压的屏蔽阵列，还包括设置在所述屏蔽阵列上的预留通道，组合后的所述框架结构、屏蔽阵列笼罩于所述高电位设备的外围。2.如权利要求1所述的高压屏蔽仓，其特征是：所述框架结构包括若干个顶点组件(2)和若干根框架梁柱，每个所述顶点组件(2)能够连接若干根所述框架梁柱，所述框架梁柱为圆柱形，所述顶点组件(2)与所述框架梁柱的一端相连，所述框架梁柱通过所述顶点组件(2)连接构成所述框架结构。3.如权利要求2所述的高压屏蔽仓，其特征是：所述顶点组件(2)通过连接器(7)与所述框架梁柱的一端相连，所述连接器(7)为环形，表面及边沿均无尖锐凸起，所述连接器(7)的所述边沿设有防止高压打火的倒角或者圆角。4.如权利要求3所述的高压屏蔽仓，其特征是：所述顶点组件(2)由圆柱状管材通过弯制和连接制成，所述顶点组件(2)外表面及弯角均为圆滑表面没有尖锐凸起。5.如权利要求2所述的高压屏蔽仓，其特征是：所述框架梁柱上设有阵列排列的安装孔，所述金属管(4)通过所述安装孔，成阵列状设置在所述框架梁柱构成的所述外表面上，构成所述屏蔽阵列。6.如权利要求5所述的高压屏蔽仓，其特征是：所述预留通道设置在所述屏蔽阵列上，包括电缆管道和...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立华，崔保群，马鹰俊，唐兵，黄青华，马瑞刚，马燮，
申请(专利权)人：中国原子能科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11