【技术实现步骤摘要】
拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法
本专利技术涉及零部件温度控制领域,特别涉及一种拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法。
技术介绍
光刻机是大规模、超大规模集成电路制造的核心设备,它包括曝光系统、工件台、掩模台、硅片传输系统、工件传输系统、微环境系统等分系统。其中,曝光系统与微环境系统是保证光刻机曝光线条质量的关键系统,而光刻机投影物镜的温度控制则是关键中的关键。光刻机对投影物镜内部环境的要求极高,尤其是温度的稳定性与均匀性要求。由于长时间进行激光曝光,投影物镜内部温度随曝光时间而变化。投影物镜内部温度的变化会造成焦面漂移,导致曝光线条畸变和像散,严重降低曝光线条的质量。因此,投影物镜内部温度控制是保证光刻机曝光线条质量的关键技术。为了对光刻机投影物镜内部温度进行控制,通常的做法是在投影物镜外部安装一个恒温水套,通过控制恒温水套内的循环水温度对投影物镜内部温度进行间接控制。图1为现有的一种光刻机的物镜温度控制装置示意图,适用于对一组物镜进行温度控制,其中,一组物镜包括一端通过法兰盘100固定连接的上、下镜筒。该光刻机的物镜温度控制装置包括第一、二水套210、220、分流集流板230、循环水控制单元240、调节阀251、252、253、温度传感器261、262、263和温度控制单元270;第一水套210包括第一水套体211和双螺旋缠绕在第一水套体211外壁的第一水管212;第二水套220包括第二水套体221和双螺旋缠绕在第二水套体221外壁的第二水管222;法兰盘100的上表面还设置有第三水管(未图示)。具体应用时,上镜筒设置于第一水套体211 ...
【技术保护点】
一种拼接物镜温度控制装置,所述拼接物镜包括至少一组物镜,所述一组物镜包括相互光路连接的上物镜和下物镜,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上进水管、上出水管、下进水管、下出水管、循环水控制单元、上温度传感器、下温度传感器以及至少一个下加热器;其中,所述上物镜和下物镜均设置于所述水套内,所述上进水管和上出水管设置于所述上物镜处并通过所述水套连通,所述下进水管和下出水管设置于所述下物镜处并通过所述水套连通,所述循环水控制单元与所述上进水管、上出水管、下进水管和下出水管连通,所述上温度传感器邻近所述上物镜,所述下温度传感器所述邻近所述下物镜,至少一个所述下加热器设置于所述下进水管上。
【技术特征摘要】
1.一种拼接物镜温度控制装置,所述拼接物镜包括至少一组物镜,所述一组物镜包括相互光路连接的上物镜和下物镜,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上进水管、上出水管、下进水管、下出水管、循环水控制单元、上温度传感器、下温度传感器以及至少一个下加热器;其中,所述上物镜和下物镜均设置于所述水套内,所述上进水管和上出水管设置于所述上物镜处并通过所述水套连通,所述下进水管和下出水管设置于所述下物镜处并通过所述水套连通,所述循环水控制单元与所述上进水管、上出水管、下进水管和下出水管连通,所述上温度传感器邻近所述上物镜,所述下温度传感器所述邻近所述下物镜,至少一个所述下加热器设置于所述下进水管上。2.如权利要求1所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置还包括至少一个上加热器,至少一个所述上加热器设置于所述上进水管上。3.如权利要求1或2所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述水套为一整体式结构,所述水套包括上放置区域和下放置区域,所述拼接物镜包括多组物镜,所述多组物镜中的所述上物镜均设置于所述上放置区域,所述多组物镜中的所述下物镜均设置于所述下放置区域。4.如权利要求3所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上进水管包括一根上总进水管和与所述上总进水管连通的多根上分支进水管,所述下进水管包括一根下总进水管和与所述下总进水管连通的多根下分支进水管;其中,所述循环水控制单元与所述上总进水管和所述下总进水管连通,每个所述上物镜处设置有一根所述上分支进水管,每个所述下物镜处设置有一根所述下分支进水管,至少一个所述下加热器设置于所述下总进水管上,至少一个所述上加热器设置于所述上总进水管上。5.如权利要求3所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上温度传感器设置于临近所述上放置区域的中间位置,所述下温度传感器设置于临近所述下放置区域的中间位置。6.如权利要求1或2所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述拼接物镜包括多组物镜,所述多组物镜划分为若干物镜组,每个所述物镜组共用一个所述水套,每个所述水套包括上放置区域和下放置区域,每个所述物镜组中的所述上物镜均设置于同一个所述水套的所述上放置区域,每个所述物镜组中的所述下物镜均设置于同一个所述水套的所述下放置区域。7.如权利要求6所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上进水管包括多根上总进水管和与每根所述上总进水管连通的多根上分支进水管,每个所述物镜组中的所述上物镜共用一根所述上总进水管;所述下进水管包括多根下总进水管和与每根所述下总进水管连通的多根下分支进水管,每个所述物镜组中的所述下物镜共用一根所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗兵,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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