一种镜片固定结构制造技术

本发明专利技术提出一种镜片固定结构，将所述镜片固定在镜座内，所述固定结构包括弹性部件，所述弹性部件内设有容纳所述镜片的通孔，所述弹性部件可沿所述通孔的径向弹性变化，所述弹性部件卡设在所述镜片与所述镜座之间限制所述镜片移动。与现有技术相比较，本发明专利技术提出的一种镜片固定结构可以保证镜片侧向没有间隙，同时能够很好地控制镜片的固定压力，可以抵消镜片热变形对压力的影响，完全可以取代现有技术中镜片固定用的胶水。同时由于本发明专利技术结构与镜片接触面积比较大，长期使用比较稳定，比镜片用胶水固定更加可靠，而且由于集成比较简单可以节省装配时间。

【技术实现步骤摘要】
一种镜片固定结构
本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种光刻曝光光学系统镜片径向固定结构。
技术介绍
光刻机曝光设备中的投影光学系统分辨率的要求越来越高，对光学系统的成像质量要求也更高。光学系统使用环境的变化，如气压、外界震动等，往往会引起成像质量的变化；大功率光源的热效应也使镜片产生高阶像差，在高精度光学系统中都要考虑镜片固定应力的影响。图1所示的镜片固定形式是一种常用的固定结构，镜片12通过压圈13放在镜筒11中，但镜片12与镜筒11在径向有间隙，通过点胶孔14点胶的方式填充间隙，将镜片12固定。同时胶水固化后有一定的柔性，可以减少镜片12因为热变形等造成的镜片12面型变化。但胶水在大照度光源中存在老化的风险，同时装配周期较长。图2为日本专利JP2004347814镜片固定结构示意图，该专利中镜片21四周采用V型槽22，通过多个弹片23与V型槽22配合，对镜片21在轴向和径向固定。此种结构可以对镜片21进行柔性固定。但镜片21四周设计有V型槽22，在很多工况下无法实现，不具有通用性。由于镜片21自重的分力在镜片21径向是存在的，此种结构无法避免在径向对镜片21造成挤压，导致面型变化，而且此种结构在径向力方向调节不灵敏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种镜片固定结构，在保证镜片侧向没有间隙的同时，能够控制镜片的固定压力，并对镜片的面型进行调整。为了实现上述专利技术目的，本专利技术提出一种镜片固定结构，将所述镜片固定在镜座内，其特征在于，所述固定结构包括弹性部件，所述弹性部件内设有容纳所述镜片的通孔，所述弹性部件可沿所述通孔的径向弹性变化，所述弹性部件卡设在所述镜片与所述镜座之间限制所述镜片移动。其中，所述弹性部件呈圆台形，所述圆台形上表面的外径大于下表面的外径。其中，所述镜座的内壁具有一倾斜角度，所述镜座的内壁与所述弹性部件的外壁紧密贴合。其中，所述弹性部件由重复的弹性形变结构连接而成。其中，所述弹性形变结构为S型。其中，所述弹性部件的孔壁上开设有若干圈凹槽。其中，所述弹性部件的外壁上开设有若干圈凹槽。其中，所述固定结构还包括压圈，所述镜座内壁上设有凸台，所述压圈置于所述凸台上，并位于所述弹性部件上方限制其运动。其中，所述镜座内侧设有内螺纹，所述压圈外侧设有与所述内螺纹配套的外螺纹。其中，所述固定结构还包括对所述弹性部件施力的施力机构，以限制所述镜片沿径向变化。与现有技术相比较，本专利技术提出的一种镜片固定结构可以保证镜片侧向没有间隙，同时能够很好地控制镜片的固定压力，可以抵消镜片热变形对压力的影响，完全可以取代现有技术中镜片固定用的胶水。同时由于本专利技术结构与镜片接触面积比较大，长期使用比较稳定，比镜片用胶水固定更加可靠，而且由于集成比较简单可以节省装配时间。附图说明关于本专利技术的优点与精神可以通过以下的专利技术详述及所附图式得到进一步的了解。图1是现有镜片固定结构示意图；图2是日本专利镜片固定结构示意图；图3是本专利技术镜片固定结构固定镜片时的示意图；图4是本专利技术镜片固定结构固定镜片时的剖视图；图5是本专利技术镜片固定结构中弹性部件的结构示意图；图6是本专利技术镜片固定结构中弹性部件的剖视图；图7是本专利技术实施例中施力机构对弹性部件施力的示意图；图8是本专利技术实施例中施力机构对弹性部件施力前的镜片面型示意图；图9是本专利技术实施例中施力机构对弹性部件施力后的镜片面型示意图。具体实施方式下面结合附图详细说明本专利技术的具体实施例。实施例一如图3和4所示，本专利技术镜片固定结构包括镜片102、镜座103、弹性部件101和压圈104。弹性部件101内设有容纳镜片102的通孔，弹性部件101可沿通孔的径向弹性变化，如图5所示；本实施例中弹性部件101呈圆台形，圆台形上表面的外径大于下表面的外径，如图6所示；镜座103的内壁具有一倾斜角度，使弹性部件101卡入镜片102与镜座103之间时，弹性部件101的外壁与镜座103的内壁紧密贴合；镜座103内壁上还设有凸台105，压圈104置于凸台105上，凸台105的侧壁上设有内螺纹，压圈104外壁上设有与内螺纹配套的外螺纹。本专利技术镜片固定结构固定镜片102时，先将弹性部件101插入镜片102与镜座103之间，旋转压圈104，使压圈104向下运动，将压圈104固定在凸台上105的同时压圈104下压弹性部件101，弹性部件101向下运动，同时受到镜座103内侧斜面的挤压，弹性部件101沿通孔径向均匀收缩与镜片102接触，弹性部件101被完全卡入镜片102与镜座103之间时，镜片102也被固定在镜座103内。如图5所示，弹性部件101由重复的弹性形变结构连接而成。优选地，所述弹性形变结构为S型。如图6所示，弹性部件101的孔壁和外壁上均开设有若干圈凹槽106，以增加弹性部件101的弹性，抵消镜片102由于热变形产生的面型变化。本实施例中，在弹性部件101的孔壁上开设有两圈凹槽106，在弹性部件101的外壁上开设有一圈凹槽106，且外壁上的凹槽106位于孔壁上的两圈凹槽106之间。由于本专利技术弹性部件101在径向被做成柔性结构，在径向受力后容易变形到设定的位置，将位于弹性部件101通孔内的镜片102固定。而且，在固定镜片102时，弹性部件101与镜片102的接触面积比较大，所以对镜片102的施力比较均匀，有利于控制镜片102的面型。由于圆台形弹性部件101的外壁与通孔的纵轴之间的夹角可以设计的很小，所以控制压圈104的旋转力的误差对镜片102的压力影响比较小。例如，压圈104向下压力的误差为5N，弹性部件101的外壁与通孔的纵轴之间的夹角为1度，则由于压圈104向下压力的误差导致对镜片102的压力误差为5*tan(1)=0.09N。同时由于弹性部件101在径向为柔性结构设计，可以减小因为压力误差、制造误差等原因对镜片102的压力不均，因此可以取得较好的镜片面型控制效果。实施例二当镜片102由于受热不均而沿镜片103的径向变化，从而引起镜片102的面型变化时，可以在弹性部件101的不同位置施加不同的力以改善面型。如图7所示，本实施例以沿圆周方向均匀布施四个力f1、f2、f3、f4于弹性部件101的上表面为例进行说明。施力前，由于镜片102受热不均，导致镜片102膨胀，使得镜片102的的面型比较大，面型有25nm，如图8所示。通过调节f1-f4的大小，抑制镜片102沿径向扩张，从而改善镜片102的面型精度，改善后的效果如图9所示，面型达到7nm。本专利技术提出的一种镜片固定结构可以保证镜片侧向没有间隙，同时能够很好地控制镜片的固定压力，可以抵消镜片热变形对压力的影响，完全可以取代现有技术中镜片固定用的胶水。同时由于本专利技术结构与镜片接触面积比较大，长期使用比较稳定，比镜片用胶水固定更加可靠，而且由于集成比较简单可以节省装配时间。本说明书中所述的只是本专利技术的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本专利技术的技术方案而非对本专利技术的限制。凡本领域技术人员依本专利技术的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本专利技术的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镜片固定结构，将所述镜片固定在镜座内，其特征在于，所述固定结构包括弹性部件，所述弹性部件内设有容纳所述镜片的通孔，所述弹性部件可沿所述通孔的径向弹性变化，所述弹性部件卡设在所述镜片与所述镜座之间限制所述镜片移动。

【技术特征摘要】
1.一种镜片固定结构，将所述镜片固定在镜座内，其特征在于，所述固定结构包括弹性部件，所述弹性部件内设有容纳所述镜片的通孔，所述弹性部件可沿所述通孔的径向弹性变化，所述弹性部件卡设在所述镜片与所述镜座之间限制所述镜片移动。2.如权利要求1所述的镜片固定结构，其特征在于，所述弹性部件呈圆台形，所述圆台形上表面的外径大于下表面的外径。3.如权利要求2所述的镜片固定结构，其特征在于，所述镜座的内壁具有一倾斜角度，所述镜座的内壁与所述弹性部件的外壁紧密贴合。4.如权利要求1所述的镜片固定结构，其特征在于，所述弹性部件由重复的弹性形变结构连接而成。5.如权利要求4所述的镜片固定结构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇环，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31