流体可渗透的阳极氧化膜及用阳极氧化膜的流体可渗透体制造技术

一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙，以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。还提供了利用流体可渗透的阳极氧化膜的流体可渗透体。

【技术实现步骤摘要】
流体可渗透的阳极氧化膜及用阳极氧化膜的流体可渗透体
本专利技术涉及具有渗透孔的流体可渗透的阳极氧化膜，以及利用阳极氧化膜的流体可渗透体。
技术介绍
一般地，流体可渗透的膜用于流体(气体或液体)的分离、净化、过滤、分析、反应、扩散等目的。特别地，阳极氧化膜可用作为流体可渗透的膜，其制造成本低并且具有多个孔隙。通过阳极氧化基础金属形成的阳极氧化膜包括具有形成在其表面上的多个孔隙的多孔层。本文所指的基础金属可为铝(Al)、钛、(Ti)、钨(W)、锌(Zn)等。然而，重量轻、容易加工、热导率优异并且没有重金属污染的铝或铝合金被广泛地用作基础金属。如图1所示，由阳极氧化金属制造的现有技术的流体可渗透阳极氧化膜公开于美国专利No.8,210,360中。在现有技术的阳极氧化膜中，形成在阳极氧化膜中的孔隙的内部宽度落于约几纳米到300纳米的范围内。由于孔隙的内部宽度太小，所以孔隙容易被包含在渗透过阳极氧化膜的流体中的外来材料堵塞。这造成流体不能够容易地渗透过阳极氧化膜的问题。为了改善由阳极氧化膜的孔隙的小直径造成的问题，可设想使用扩大阳极氧化膜的孔隙的方法。然而，由于孔隙的内部宽度在纳米的量级，所以难以扩大孔隙。另外，存在由于孔隙的扩大而显著地减小阳极氧化膜的结构强度的缺陷。流体(气体或液体)可穿过的流体穿过构件用于流体的扩散、分离、净化、过滤、分析、反应等目的。一般地，多个通孔形成在流体穿过构件中以使得流体可穿过通孔。为了使在穿过流体穿过构件之后流体被均匀地扩散，优选的是增加通孔的数量同时减小通孔的内部宽度。然而，在减小通孔的内部宽度时涉及诸多困难。作为上面提及的流体穿过构件的示例，存在着这样一种扩散器(喷头)，其用于均匀地将气体朝向容纳在用于制造液晶显示器(LCD)的真空室内的玻璃注射。液晶显示器(LCD)是一种不发光元件，其通过在阵列基板和彩色滤光片基板之间填充液晶而形成并配置成使用液晶的特性获得图像效果。阵列基板和彩色滤光片基板中的每一个通过以下过程制造：在由玻璃等制成的玻璃透明玻璃上反复地沉积膜的过程，和图案化并蚀刻这样地经沉积的膜的过程。当通过将反应剂和原材料在气态下引入到真空室而执行沉积过程时，这样地引入的气体穿过扩散器(喷头)并且沉积在安装在基座的上表面上的玻璃，从而形成膜。作为流体穿过构件的现有技术的扩散器(喷头)公开于韩国专利注册No.0653442中。如图8所示，通过引入部18引入的反应气体穿(渗透)过扩散器15。反应气体朝向安装在基座S上的玻璃注射。然而，存在这样的问题：不能通过形成在现有技术的扩散器中的孔均匀地朝向玻璃注射反应气体。为了改善这个问题，可设想减小孔的内部宽度并且增加孔的数量。然而，在制造现有技术的扩散器方面存在限制。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种流体可渗透的阳极氧化膜和使用能够改善流体的扩散均匀性的阳极氧化膜的流体可渗透体，所述阳极氧化膜能够使得流体能够渗透并均匀扩散、保持结构强度并且促进其制造。根据本专利技术的一个方面，提供一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙；以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。渗透孔的内部宽度从流体可渗透的阳极氧化膜的一端到流体可渗透的阳极氧化膜的另一端可保持恒定。孔隙可定位在渗透孔之间。根据本专利技术的另一个方面，提供一种流体可渗透体，其包括具有让流体穿过的通孔的流体穿过构件；以及与流体穿过构件联接的流体可渗透的阳极氧化膜，其中流体可渗透的阳极氧化膜包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙，以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔，所述通孔与所述渗透孔连通。流体穿过构件可包括彼此连接的至少两个流体穿过构件，并且流体可渗透的阳极氧化膜可布置在两个流体穿过构件之间并且与两个流体穿过构件中的至少一个的表面联接。流体穿过构件可包括具有形成在流体穿过构件的上表面上的停靠凹槽，并且流体可渗透的阳极氧化膜可停靠在停靠部分上。第一金属部分可形成在流体可渗透的阳极氧化膜的外围部分中，并且可与流体穿过构件联接。流体可渗透的阳极氧化膜通过阳极氧化基础金属并且然后去除基础金属而形成。流体可渗透体可进一步包括：形成在流体可渗透的阳极氧化膜的上表面或下表面上的金属部分。流体穿过构件可为安装在真空室内的扩散器。根据本专利技术的另一方面，提供一种流体可渗透体，其包括：具有让流体穿过的通孔的主体；以及与主体的至少一个表面一体形成的阳极氧化膜，其中阳极氧化膜具有与通孔连通的渗透孔。其上形成有阳极氧化膜的一个表面上的通孔的内部宽度可大于渗透孔的内部宽度，并且渗透孔可与通孔在通孔的内部宽度的范围内连通。通孔可包括第一通孔和具有比第一通孔的内部宽度小的内部宽度的第二通孔，并且渗透孔定位在第二通孔下方。通孔可由倾斜地形成为使得其内部宽度朝向渗透孔变小的内壁限定。阳极氧化膜可包括第一阳极氧化膜和第二阳极氧化膜，并且所述主体可定位在第一阳极氧化膜和第二阳极氧化膜之间。根据本专利技术可取得下列效果。流体可穿过流体可渗透的阳极氧化膜的渗透孔而不堵塞渗透孔，并且流体可均匀地布置。这样，改善了流体的扩散均匀性。另外，可以保持流体可渗透的阳极氧化膜的结构强度，并且可以容易地制造流体可渗透的阳极氧化膜。另外，流体可渗透的阳极氧化膜使得检查在渗透孔中捕获的杂质的量成为可能。另外，流体可渗透的阳极氧化膜是柔韧的，并且因此在流体穿过膜时在流体流动的方向上弯曲。这样，增加了流体的扩散宽度。另外，可通过将流体可渗透的阳极氧化膜与现有的流体穿过构件组合来制造流体可渗透的阳极氧化膜。因此，其制造工艺简单且容易。另外，渗透孔可形成为保持流体可渗透的阳极氧化膜的结构强度。此外，使用通过阳极氧化主体而形成的阳极氧化膜使得简单并且容易地执行制造工艺成为可能。附图说明图1是示出现有技术的流体可渗透的阳极氧化膜的截面图。图2是根据本专利技术的第一优选实施例的流体可渗透的阳极氧化膜(包括阻挡层)的透视图。图3是根据本专利技术的第二优选实施例的流体可渗透的阳极氧化膜(不包括阻挡层)的透视图。图4是图2所示的流体可渗透的阳极氧化膜的部分截面的透视图。图5A是图2所示的第一实施例的流体可渗透的阳极氧化膜的部分截面图，而图5B是图3所示的第二优选实施例的流体可渗透的阳极氧化膜的部分截面图。图6A和6B是示出在流体渗透时流体可渗透的阳极氧化膜处于弯曲的状态的图。图7是示出流体可渗透的阳极氧化膜制造方法的框图。图8是包括现有技术的流体穿过构件(扩散器)的真空室的截面图。图9是利用根据本专利技术第一优选实施例的阳极氧化膜的流体可渗透体的截面图。图10A是图9所示的流体可渗透体的部分放大的截面图，而图10B是图10A所示的流体可渗透体的底视图。图11A和11B是示出流体可渗透的阳极氧化膜的改型的图。图12A-12D是示出图9所述的流体可渗透体的改型的图。图13是利用根据本专利技术第二优选实施例的阳极氧化膜的流体可渗透体的截面图。图14A是图13所示的流体可渗透体的部分放大的截面图，而图14B是图14A所示的流体可渗透体的底视图。图15A和15B以及图16A-16D是示出流体可渗透的阳极氧化膜和形成在流体可渗透的阳极氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙；以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。

【技术特征摘要】
2015.12.09 KR 10-2015-0175202;2015.12.09 KR 10-2011.一种流体可渗透的阳极氧化膜，其包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙；以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔。2.根据权利要求1所述的流体可渗透的阳极氧化膜，其中，渗透孔的内部宽度从流体可渗透的阳极氧化膜的一端到流体可渗透的阳极氧化膜的另一端保持恒定。3.根据权利要求1所述的流体可渗透的阳极氧化膜，其中，孔隙定位在渗透孔之间。4.一种流体可渗透体，其包括：具有让流体穿过的通孔的流体穿过构件；以及与流体穿过构件联接的流体可渗透的阳极氧化膜，其中，流体可渗透的阳极氧化膜包括：通过阳极氧化金属而形成的多个规则布置的孔隙，以及具有比所述孔隙的内部宽度大的内部宽度并延伸通过流体可渗透的阳极氧化膜的多个渗透孔，所述通孔与所述渗透孔连通。5.根据权利要求4所述的流体可渗透体，其中，流体穿过构件包括彼此联接的至少两个流体穿过构件，并且流体可渗透的阳极氧化膜布置在两个流体穿过构件之间并且与两个流体穿过构件中的至少一个的表面联接。6.根据权利要求4所述的流体可渗透体，其中，流体穿过构件包括具有形成在流体穿过构件的上表面上的停靠凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：安范模，朴胜浩，边圣铉，
申请(专利权)人：普因特工程有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR