一种气氛炉氩气回收纯化系统技术方案

技术编号:15562180 阅读:253 留言:0更新日期:2017-06-09 20:19
本实用新型专利技术涉及氩气回收技术领域,具体公开一种气氛炉氩气回收纯化系统,包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接。本实用新型专利技术的优点是,保证高效率的回收率,进一步减少压力容器中的气体与外界空气的接触,高效的过滤系统和纯化系统,有效保证气体再次应用,降低氩气损耗,降低成本。

Argon recovery and purification system for atmosphere furnace

The utility model relates to the technical field of argon recovery, the argon recovery discloses a furnace atmosphere purification system, including one for argon argon cabinet storage from pollution to atmosphere furnace, the argon gas holder and atmosphere furnace outlet connection; after the holder is connected with the first filter, argon low-pressure vortex machine, oil-free screw second filter, dryer, the first valve group, internal circulation purification system successively; the internal circulation purification system includes purification device, are connected to the purification device after the second valve group, a buffer tank, a high-pressure compressor, cylinder group, the gas bottle group is connected with a by-pass pipe and a by-pass pipe the bypass valve and the third valve group, the third valve group is connected with the purification. The utility model has the advantages of high efficiency, ensure the recovery rate, to further reduce the gas pressure in the container with the outside air, efficient filtration system and purification system, effectively guarantee the application of argon gas again, reduce losses, reduce costs.

【技术实现步骤摘要】
一种气氛炉氩气回收纯化系统
本技术涉及氩气回收
,特别是指一种气氛炉氩气回收纯化系统。
技术介绍
气氛炉在使用时经常会向其炉膛内通入氩气,由于工件在高温情况下会发生氧化,而通入氩气主要为了起到抗氧化作用,同时在特殊的产品情况下通入氩气,则是作为一种催化辅料的作用,而且,由于高纯氩气经过实验后所排放的氩气中,含有微量的杂质、碳粉尘、一氧化碳及二氧化碳等,对环境污染较大。为解决上述问题,就需要对排放出来的氩气进行回收再利用。申请号为201210078306.X的专利公开了一种单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置,先对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油,再经压缩冷却后高精度除油除尘;接着通过高温催化反应使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生成水和二氧化碳,催化反应中保证氧气过量;再通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的氢气反应生成水,经过两次催化反应之后的氩气经过常温吸附单元以便吸附水和二氧化碳;将上述氩气冷却后送入低温精馏塔,使氩气与氮气和氢气产生精馏分离,得到纯液氩,再经复热后得到纯氩产品。系统过于复杂,使用的设备价格高,经济成本非常高,对后续提纯设备要求很高,且氢气用量大,增加成本。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种气氛炉氩气回收纯化系统,保证高效率的回收率,进一步减少压力容器中的气体与外界空气的接触,高效的过滤系统和纯化系统,有效保证气体再次应用,降低氩气损耗,降低成本。为了实现上述目的,本技术采用了以下的技术方案:一种气氛炉氩气回收纯化系统,包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。其中,所述低压涡旋无油螺杆机与第二过滤器之间设有温度传感器和压力传感器,所述高压压缩机与储气瓶组之间设有温度传感器和压力传感器,所述温度传感器和压力传感器均连接一控制柜。其中,所述纯化器包括至少一组吸附塔和催化塔,所述催化塔与第一减压阀组及连接。其中,所述第一减压阀组、第三减压阀组与催化塔之间均设有阀门。其中,所述气氛炉前端连接有补充气源装置。其中,所述补充气源装置包括液氩罐和气化器,液氩罐通过气化器与气氛炉连接。本技术的有益效果在于:氩气回收纯化再次利用,保证了经济成本和氩气过度消耗,为企业带来良好效益。本方案系统为全自动运行,可进行远程监控和调试。此氩气回收系统保证了90%的回收率,有效降低氩气损耗!氩气柜采用了水隔绝保护,减少氩气和外界空气接触,大大减少氩气使之泄露导致气体纯度迅速下降的故障。高效率的纯化器,保证了被污染的气体再次提纯利用。采用德国过滤系统,使进入炉体的气体中的油含量非常微小,避免炉体进行实验产生的影响和危害。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对-实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。如图1所示的一种气氛炉氩气回收纯化系统,包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。所述纯化器包括至少一组吸附塔和催化塔,所述催化塔与第一减压阀组及连接,一开一备,防止发生故障,交替使用。所述低压涡旋无油螺杆机与第二过滤器之间设有温度传感器和压力传感器,所述高压压缩机与储气瓶组之间设有温度传感器和压力传感器,所述温度传感器和压力传感器均连接一控制柜。实时将测得的数据传给控制柜供工作人员查看。所述第一减压阀组、第三减压阀组与催化塔之间均设有阀门,用于控制管路之间的开闭状态。所述气氛炉前端连接有补充气源装置,所述补充气源装置包括液氩罐和气化器,液氩罐通过气化器与气氛炉连接,用于给气氛炉补充氩气。把气氛炉出口被污染的氩气源汇集回收到连接的氩气柜储存,同时打开氩气柜出口连接第一过滤器,进入低压涡旋无油螺杆机的阀门,启动低压涡旋无油螺杆机至待定压力,通过第二过滤器和干燥器除掉大量水分和杂质,同时通过第一减压阀组减压后进入纯化器提纯,监控氩气源中的氮元素、氧元素和水露点是否达到设定值,然后减压至常压经不锈钢缓冲罐缓冲进入高压压缩机,当经过纯化器的氩气源达不到设定要求值时,可先关闭进入气氛炉的进气阀,同时打开储气瓶组旁通至纯化器的管道阀门,经减压至纯化器入口需求的压力,再次循环,直到氩气源纯度达到标准后,再关闭旁通阀门,经高压压缩机至储气瓶组储存,最后通过储气瓶组干净的氩气源再次进入气氛炉,回收利用,以此循环。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
一种气氛炉氩气回收纯化系统

【技术保护点】
一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。

【技术特征摘要】
1.一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。2.根据权利要求1所述的一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:所述低压涡旋无油螺杆机与第二过滤器之间设有温度传感器和压力传感器,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王加壮罗宏孟惟何晓孟伟丁俊
申请(专利权)人:华油天然气广安有限公司
类型:新型
国别省市:四川,51

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