The utility model relates to the technical field of argon recovery, the argon recovery discloses a furnace atmosphere purification system, including one for argon argon cabinet storage from pollution to atmosphere furnace, the argon gas holder and atmosphere furnace outlet connection; after the holder is connected with the first filter, argon low-pressure vortex machine, oil-free screw second filter, dryer, the first valve group, internal circulation purification system successively; the internal circulation purification system includes purification device, are connected to the purification device after the second valve group, a buffer tank, a high-pressure compressor, cylinder group, the gas bottle group is connected with a by-pass pipe and a by-pass pipe the bypass valve and the third valve group, the third valve group is connected with the purification. The utility model has the advantages of high efficiency, ensure the recovery rate, to further reduce the gas pressure in the container with the outside air, efficient filtration system and purification system, effectively guarantee the application of argon gas again, reduce losses, reduce costs.
【技术实现步骤摘要】
一种气氛炉氩气回收纯化系统
本技术涉及氩气回收
,特别是指一种气氛炉氩气回收纯化系统。
技术介绍
气氛炉在使用时经常会向其炉膛内通入氩气,由于工件在高温情况下会发生氧化,而通入氩气主要为了起到抗氧化作用,同时在特殊的产品情况下通入氩气,则是作为一种催化辅料的作用,而且,由于高纯氩气经过实验后所排放的氩气中,含有微量的杂质、碳粉尘、一氧化碳及二氧化碳等,对环境污染较大。为解决上述问题,就需要对排放出来的氩气进行回收再利用。申请号为201210078306.X的专利公开了一种单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置,先对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油,再经压缩冷却后高精度除油除尘;接着通过高温催化反应使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生成水和二氧化碳,催化反应中保证氧气过量;再通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的氢气反应生成水,经过两次催化反应之后的氩气经过常温吸附单元以便吸附水和二氧化碳;将上述氩气冷却后送入低温精馏塔,使氩气与氮气和氢气产生精馏分离,得到纯液氩,再经复热后得到纯氩产品。系统过于复杂,使用的设备价格高,经济成本非常高,对后续提纯设备要求很高,且氢气用量大,增加成本。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种气氛炉氩气回收纯化系统,保证高效率的回收率,进一步减少压力容器中的气体与外界空气的接触,高效的过滤系统和纯化系统,有效保证气体再次应用,降低氩气损耗,降低成本。为了实现上述目的,本技术采用了以下的技术方案:一种气氛炉氩气回收纯化系统,包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤 ...
【技术保护点】
一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。
【技术特征摘要】
1.一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:包括一用于储存来自于气氛炉被污染的氩气的氩气柜,所述氩气柜与气氛炉出口连接;在所述氩气柜之后依次相连有第一过滤器、低压涡旋无油螺杆机、第二过滤器、干燥器、第一减压阀组、内循环纯化系统;所述内循环纯化系统包括纯化器、依次连接于纯化器之后的第二减压阀组、缓冲罐、高压压缩机、储气瓶组,所述储气瓶组连接有一旁通管道,旁通管道上设有一旁通阀门和第三减压阀组,所述第三减压阀组与纯化器连接;所述储气瓶组与气氛炉的进气阀连接。2.根据权利要求1所述的一种气氛炉氩气回收纯化系统,其特征在于:所述低压涡旋无油螺杆机与第二过滤器之间设有温度传感器和压力传感器,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王加壮,罗宏,孟惟,何晓,孟伟,丁俊,
申请(专利权)人:华油天然气广安有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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