超净空间的高精度温控室及温控方法技术

本发明专利技术公开了一种超净空间的高精度温控室及温控方法，包括相互间隔设置的小型实验室、核心实验室和精密加工区；所述的小型实验室的四周设置有第一回风夹道；所述的核心实验室采用多级嵌套结构，核心实验室的外周设置有核心区回廊，核心区回廊一侧设置超精区走廊，另一侧设置第二回风夹道；核心实验室设置有两面用于自然对流的通风板墙；所述的精密加工区侧壁设置有送回风夹道。该结构能够使其内部温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道，以免对气流造成扰动。

High precision temperature control room with super clean space and temperature control method

High precision temperature control chamber and temperature control method of the invention discloses a super net space, including a small laboratory, arranged at intervals of the core laboratory and precision machining area; around the small laboratory is provided with a first air passageway; the core laboratory the multistage nested structure, peripheral core laboratory is the core area corridor, corridor core area is arranged on one side of ultra precision area corridor, the other side is provided with second air passageway; core laboratory setup has two sides for ventilation wall of natural convection; precision machining area of the side wall is provided with air supply passage. The structure enables the internal temperature to be controlled at + 0.01 DEG c.. And the experimentation area can not have any exhaust duct, so as not to cause disturbance to the airflow.

【技术实现步骤摘要】
超净空间的高精度温控室及温控方法
专利技术属于建筑设计领域，具体涉及一种超净空间的高精度温控室及温控方法。
技术介绍
随着精密设备的生产及国外进口设备的应用日益普遍，对使用环境提出了更高的要求。如果环境温度波动超出使用要求，则会带来设备无法正常启动或生产产品的不合要求。为了让使用方在重金购买高精密设备后能正常运作带来效益，那么确保设备的使用环境温度则显得尤为重要了。
技术实现思路
本
技术实现思路
旨在解决高精度要求的实验室内，提供了一种超净空间的高精度温控室及温控方法，其温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道，以免对气流造成扰动。为了实现上述任务，本专利技术采用以下技术措施：一种超净空间的高精度温控室，包括相互间隔设置的小型实验室、核心实验室和精密加工区；所述的小型实验室的四周设置有第一回风夹道；所述的核心实验室采用多级嵌套结构，核心实验室的外周设置有核心区回廊，核心区回廊一侧设置超精区走廊，另一侧设置第二回风夹道；核心实验室设置有两面能够形成自然对流的通风板墙；所述的精密加工区侧壁设置有送回风夹道；第二回风夹道内的回风管道与核心区回廊连通；超精区走廊与核心区回廊分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。所述的小型实验室的顶部通过单轨吊车轨梁设置有3T单轨吊车。所述的小型实验室的底部的两层防水间通过干砂填充。所述的通风板墙由方钢骨架和双面彩钢板玻璃丝棉组成，双面彩钢板玻璃丝棉设置有观察窗和多个可拆卸的微穿孔板。所述的微穿孔板每隔1.5米设置一个。所述的微穿孔板为镀锌板，开孔率为3％。所述的微穿孔板设置有把手。一种基于所述的超净空间的高精度温控室的温控方法，包括以下步骤：首先把超精区走廊的温度控制在20±0.5℃；再将超精区走廊内的核心区回廊的温度控制在20±0.2℃；最后把核心实验室嵌套于核心区回廊内，通过核心实验室的两面通风板墙，形成自然对流，达到最终稳定均匀的温度场，使得核心实验室的温度维持在20±0.01℃。当核心实验室内有余热散出时，核心区回廊内气流通过通风板墙与核心实验室内进行热交换，使内部温度场始终保持恒定；当核心实验室温度场均匀后或内部气流扰动过大时，可拆卸一处或多处微穿孔板，用实心平板替换填实。本专利技术与现有技术相比，具有以下优点：本专利技术在高精度要求的实验室内分区设计，该实验区内不能有任何送排风管道，以免对气流造成扰动。尤其是对核心实验区的温度控制采用逐级递进，减小温度波动范围的控制方式。即采用多级嵌套，逐级提高温度精度控制的措施。核心区内无任何送排风措施，此实验室在实验时是不进人状态，依靠核心区与回廊分隔的两面特殊通风板墙进行自然对流，进而最终达到稳定的高精度温度场。首先把超精区走廊的温度控制在20±0.5℃；之后核心区回廊设置于超精区走廊内，温度控制在20±0.2℃；最后把核心实验室嵌套于核心区回廊内，通过核心实验室两面特制通风板墙，经自然对流，达到最终稳定均匀的温度场，室温精度维持在20±0.01℃，满足精密仪器对温度的严格要求。进一步，通风板墙上的微穿孔板为可拆卸型，当室内温度场均匀后或核心区内气流扰动过大，可拆卸一处或多处微穿孔板，用实心平板替换填实。本专利技术的温控方法，通过设置的件套结构，进行逐层温度控制，最终在通过核心实验室两面特制通风板墙，经自然对流，达到最终稳定均匀的温度场。整个控制过程只需要空调系统设置温度，其他均为温控结构自动进行调节，控制过程简单，控制温度准确。【附图说明】图1为超净空间的高精度温控室示意图；图2为核心实验室结构示意图；图3为通风板墙结构示意图；其中，1、空调管廊；2、小型实验室；3、回风夹道；4、两层防水间；5、单轨吊车轨梁；6、3T单轨吊车；7、超精区走廊；8、核心区回廊；9、核心实验室；10、回风夹道；11、送回风夹道；12、精密加工区；13、通风板墙；14、观察窗；15、微穿孔板(镀锌板，开孔率3％)；16、方钢骨架；17、双面彩钢板玻璃丝棉(100mm厚)；18、吊顶。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术作详细描述：如图1和图2所示，一种超净空间的高精度温控室，包括相互间隔设置的小型实验室2、核心实验室9和精密加工区12；所述的小型实验室2的四周设置有第一回风夹道3；所述的核心实验室9采用多级嵌套结构，核心实验室9的外周设置有核心区回廊8，核心区回廊8一侧设置超精区走廊7，另一侧设置第二回风夹道10；核心实验室9设置有两面能够形成自然对流的通风板墙13；所述的精密加工区12侧壁设置有送回风夹道11；第二回风夹道10内的回风管道与核心区回廊8连通；超精区走廊7与核心区回廊8分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。其中，小型实验室2的顶部通过单轨吊车轨梁5设置有3T单轨吊车6。小型实验室2的底部的两层防水间通过干砂填充。如图3所示，通风板墙13由方钢骨架16和双面彩钢板玻璃丝棉17组成，双面彩钢板玻璃丝棉17设置有观察窗14和多个可拆卸的微穿孔板15。微穿孔板15每隔1.5米设置一个。微穿孔板15为镀锌板，开孔率为3％。微穿孔板15设置有把手。本专利技术还提供一种基于超净空间的高精度温控室的温控方法，包括以下步骤：首先把超精区走廊7的温度控制在20±0.5℃；再将超精区走廊7内的核心区回廊8的温度控制在20±0.2℃；最后把核心实验室9嵌套于核心区回廊8内，通过核心实验室9的两面通风板墙13，形成自然对流，达到最终稳定均匀的温度场，使得核心实验室9的温度维持在20±0.01℃。当核心实验室9内有余热散出时，核心区回廊8内气流通过通风板墙13与核心实验室9内进行热交换，使内部温度场始终保持恒定；当核心实验室9温度场均匀后或内部气流扰动过大时，可拆卸一处或多处微穿孔板15，用实心平板替换填实。本专利技术的原理为：对核心实验区的温度控制采用逐级递进，减小温度波动范围的控制方式。即采用多级嵌套，逐级提高温度精度控制的措施。首先把超精区走廊的温度控制在20±0.5℃；之后核心区回廊设置于超精区走廊内，温度控制在20±0.2℃；最后把核心实验室嵌套于核心区回廊内，通过核心实验室两面特制通风板墙，经自然对流，达到最终稳定均匀的温度场，室温精度维持在20±0.01℃。在核心区回廊温度精度控制在20±0.2℃情况下，核心区内无任何送排风措施，此实验室在实验时是不进人状态，依靠核心区与回廊分隔的两面特殊通风板墙进行自然对流，进而最终达到稳定的高精度温度场。两侧通风板墙采用100mm厚的双面彩钢板玻璃丝绵，横向按1.5米跨距进行分隔，纵向在距地2.5米处进行划分，使用方钢骨架连接。在通风板墙上部，每隔1.5米设置一300x300的微穿孔板(采用镀锌板)，开孔率3％，当实验室内有余热散出时，回廊内气流通过微孔与核心区内进行热交换，使内部温度场始终保持恒定。通风板墙上的300x300的微穿镀锌孔板属于可拆卸型，在其上预留把手，当室内温度场均匀后或核心区内气流扰动过大，可拆卸一处或多处微穿孔板，用实心平板替换填实。以上，仅为本专利技术的较佳实施例，并非仅限于本专利技术的实施范围，凡依本专利技术专利范围的内容所做的等效变化和修饰，都应为本专利技术的技术范畴。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：包括相互间隔设置的小型实验室(2)、核心实验室(9)和精密加工区(12)；所述的小型实验室(2)的四周设置有第一回风夹道(3)；所述的核心实验室(9)采用多级嵌套结构，核心实验室(9)的外周设置有核心区回廊(8)，核心区回廊(8)一侧设置超精区走廊(7)，另一侧设置第二回风夹道(10)；核心实验室(9)设置有两面能够形成自然对流的通风板墙(13)；所述的精密加工区(12)侧壁设置有送回风夹道(11)；第二回风夹道(10)内的回风管道与核心区回廊(8)连通；超精区走廊(7)与核心区回廊(8)分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。

【技术特征摘要】
1.一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：包括相互间隔设置的小型实验室(2)、核心实验室(9)和精密加工区(12)；所述的小型实验室(2)的四周设置有第一回风夹道(3)；所述的核心实验室(9)采用多级嵌套结构，核心实验室(9)的外周设置有核心区回廊(8)，核心区回廊(8)一侧设置超精区走廊(7)，另一侧设置第二回风夹道(10)；核心实验室(9)设置有两面能够形成自然对流的通风板墙(13)；所述的精密加工区(12)侧壁设置有送回风夹道(11)；第二回风夹道(10)内的回风管道与核心区回廊(8)连通；超精区走廊(7)与核心区回廊(8)分别采用精度为±0.5℃和±0.2℃的空调系统。2.根据权利要求1所述的一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：所述的小型实验室(2)的顶部通过单轨吊车轨梁(5)设置有3T单轨吊车(6)。3.根据权利要求1所述的一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：所述的小型实验室(2)的底部的两层防水间通过干砂填充。4.根据权利要求1所述的一种超净空间的高精度温控室，其特征在于：所述的通风板墙(13)由方钢骨架(16)和双面彩钢板玻璃丝棉(17)组成，双面彩钢板玻璃丝棉(17)设置有观察窗(14)和多个可拆...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪欣，丁峰，邢超，
申请(专利权)人：中联西北工程设计研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61