一种特殊角度硅靶材的生产方法技术
【技术实现步骤摘要】
一种特殊角度硅靶材的生产方法
本专利技术涉及硅靶材生产
，特别涉及一种特殊角度硅靶材的生产方法。
技术介绍
普通平面靶材在加工特殊角度或控制精度倒角时，其生产难度在于其普通平面磨床不能掉转角度，龙门磨床不方面小件加工，利用加工中心等数控机床刀具问题难解决，利用电火花加工粗糙度底，硅材料由于脆性大，机械加工成为难点，目前传统方式采用普通倒角机进行45度角加工，效率低，加工精度难控制，崩边严重，无法完成其他角度的的加工，更无法完成所需角度的精度的控制。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种特殊角度硅靶材的生产方法。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式。所述一种特殊角度硅靶材的生产方法，具体包括以下步骤：第一步：将普通方形靶材按照传统的标准靶材生产工艺进行加工；第二步：将加工成的标准靶材进行倒角处理，特殊角度边不进行倒角处理；第三步：将正弦吸盘在磨床上找正，根据所要加工的角度按公式H＝L×sina算出所垫块规的高度，其中：H为块规高度，L为两正弦柱中心距，把计算好的块规放到吸盘下面后的正弦柱下垫正，按照三角函数，调整为所需加工角度；第四步：用精密口钳将标准方靶进行固定，固定于正弦吸盘进行找正；第五步：用磨床按照平面加工方式计算出图纸所需尺寸进行研磨；第六步：将方形靶进行清洗，按图纸检验，形成特殊角度硅靶材产品。所述所要加工的角度a为0—60度。所述最终加工出的特殊角度硅靶材的加工误差在+0.1mm,粗糙度小于1...
【技术保护点】
一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式。
【技术特征摘要】
1.一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式。2.根据权利要求1所述的一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：所述一种特殊角度硅靶材的生产方法，具体包括以下步骤：第一步：将普通方形靶材按照传统的标准靶材生产工艺进行加工；第二步：将加工成的标准靶材进行倒角处理，特殊角度边不进行倒角处理；第三步：将正弦吸盘在磨床上找正，根据所要加工的角度a按公式H＝L×sina算出所垫块规的高度，其中：H为所垫块规的高度，L为两正弦柱中心...
【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，陈良杰，张晓峰，顾正，郭校亮，
申请(专利权)人：青岛蓝光晶科新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37
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