The utility model relates to a wafer cleaning and drying device for cleaning and drying wafer, which comprises a rotary disk, is embedded on the rotating disc, a certain number of supporting column is connected with the rotary disk positioning a rotating rod, a rotary joint and a transmission device. The utility model by increasing the gas channel in the device, the gas and residue by blowing the wafer edge in contact with the supporting column of water or solvent, effectively solve the problem of liquid trace wafer edge to improve the surface quality of wafer edge, improve the utilization rate of wafer.
【技术实现步骤摘要】
晶片清洗甩干装置
本技术涉及一种清洗甩干装置,尤其涉及一种晶片清洗甩干装置。
技术介绍
以砷化镓(GaAs)为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料由于其独特的电学性能,在卫星通讯、微波器件、激光器及发光二极管领域有着十分广泛的应用。异质结双极晶体管、高电子迁移率晶体管、LED等器件的制作需要再高质量的衬底表面用分子束外延或者有机金属化合物气相外延技术生长外延结构。随着半导体器件工艺制作的不断完善,器件尺寸越来越小,利用率也越来越高,半导体衬底的质量尤其是晶片表面的质量对器件的可靠性和稳定性影响也越来越大。晶片清洗后甩干也是清洗步骤中很重要的一个环节,是获得高质量表面不可或缺的步骤。清洗后的晶片都会用去离子水进行冲洗然后甩干,如果晶片表面未被甩干,将会残留水迹在晶片表面,从而影响后续半导体器件的外延生长。随着半导体器件工艺的提升,对晶片的表面质量要求也越高,为提高利用率,现在要求晶片边缘部分都要有高质量的晶片表面,但是对于目前的甩干装置,由于承托柱与晶片接触,在接触部分周围,晶片表面的水迹不易甩干或者是承托柱上残留有水,可能会扩散到晶片上,从而影响晶片边缘的表面质量,在半导体制备外延工艺显现为白斑、水印等缺陷。因此,有必要提供一种新型的清洗甩干装置解决上述问题。
技术实现思路
本技术针对上述问题,提供了一种可有效避免晶片边缘水迹问题、提高晶片边缘的表面质量、提升晶片利用率的清洗甩干装置。为实现前述目的,本技术采用如下技术方案:一种晶片清洗甩干装置,其包括一旋转盘、嵌入连接在旋转盘上的若干数量的承托柱、与旋转盘定位连接的一旋转杆、一旋转接头以及一传动装置;所述旋转盘包括一旋 ...
【技术保护点】
一种晶片清洗甩干装置,其特征在于:其包括一旋转盘、嵌入连接在旋转盘上的若干数量的承托柱、与旋转盘定位连接的一旋转杆、一旋转接头以及一传动装置;所述旋转盘包括一旋转盘体、与旋转盘体固定连接的一支撑件,旋转盘体上设有与承托柱相应的嵌入孔,旋转盘体底部中心设有一气体过渡室,旋转盘体内设有若干条气路通道,所述气路通道两端分别与嵌入孔底部、气体过渡室连接,所述支撑件为一空心柱;所述承托柱包括一立柱、固定在立柱上的一承托盘体,立柱底部设有一中心孔,立柱在与晶片接触点上设有一出气孔,所述出气孔与立柱中心孔连通;所述旋转杆底部设有一气路通道连通旋转杆两端,所述旋转杆的一端与旋转盘支撑件定位连接,另一端与旋转接头连接;所述旋转接头固定在操作平台上。
【技术特征摘要】
1.一种晶片清洗甩干装置,其特征在于:其包括一旋转盘、嵌入连接在旋转盘上的若干数量的承托柱、与旋转盘定位连接的一旋转杆、一旋转接头以及一传动装置;所述旋转盘包括一旋转盘体、与旋转盘体固定连接的一支撑件,旋转盘体上设有与承托柱相应的嵌入孔,旋转盘体底部中心设有一气体过渡室,旋转盘体内设有若干条气路通道,所述气路通道两端分别与嵌入孔底部、气体过渡室连接,所述支撑件为一空心柱;所述承托柱包括一立柱、固定在立柱上的一承托盘体,立柱底部设有一中心孔,立柱在与晶片接触点上设有一出气孔,所述出气孔与立柱中心孔连通;所述旋转杆底部设有一气路通道连通旋转杆两端,所述旋转杆的一端与旋转盘支撑件定位连接,另一端与旋转接头连接;所述旋转接头固定在操作平台上。2.根据权利要求1所述的晶片清洗甩干装置,其特征在于:所述立柱出气孔由上向下倾斜至承托盘体表面。3.根据权利要求1所述的晶片清洗甩干装置,其特征在于:所述嵌入孔以旋转盘体的...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖彬,刘继斌,周铁军,
申请(专利权)人:广东先导先进材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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