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本实用新型涉及一种晶片清洗甩干装置，用于清洗甩干晶片，其包括一旋转盘、嵌入连接在旋转盘上的若干数量的承托柱，与旋转盘定位连接的一旋转杆、一旋转接头以及一传动装置。本实用新型通过在装置内增加气路通道，使气体通过吹走晶片边缘与承托柱接触而残留的...
该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。

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