The invention relates to the solar cell field. The invention discloses a silicon heterojunction solar battery and a preparation method thereof, wherein the silicon heterojunction solar cell includes a silicon substrate, a first metal chalcogenide film and second metal chalcogenide film first, intrinsic amorphous layer, second intrinsic amorphous layer, a first doped layer, the second doped layer, a first transparent conductive layer and the second transparent conductive layer, the first metal chalcogenide film and second metal chalcogenide films are respectively arranged on the silicon substrate by surface and the first intrinsic amorphous silicon layer between the substrate and the back and the second intrinsic amorphous layer between. The present invention by forming a silicon substrate on the surface of the first metal chalcogenide film and second metal chalcogenide silicon film can improve the open circuit voltage and short circuit current based heterojunction solar cell, the silicon substrate etching process is simple, thereby reducing the manufacturing cost.
【技术实现步骤摘要】
一种硅基异质结太阳能电池及其制备方法
本专利技术属于太阳能电池领域,具体地涉及一种硅基异质结太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
太阳能电池能够将太阳光直接转换为电力,因此作为新的能量源受到越来越多国家的重视。HeterojunctionwithIntrinsicThinlayer太阳能电池简称HIT太阳能电池,其最早是由三洋公司专利技术的,其是非晶硅/晶硅异质结的太阳能电池,是一种利用晶硅基片和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。由于HIT太阳能电池具有高的光电转换效率,低的温度系数和在相对低温条件下的制备技术,在近几年来成为光伏行业研究和开发的重点方向之一。目前日本的三洋公司产业化的HIT太阳能电池的效率已超过23%,其实验室效率已超过了25%。图1A和图1B所示为现有的HIT太阳能电池的结构示意图。在图1A和图1B中,在由单晶硅、多晶硅等的结晶类半导体构成的n型结晶类硅基板1的一个主面上,本征非晶硅层2、p型非晶硅层3依次叠层,进而在其上形成ITO透明导电氧化物层4和由银构成的梳型形状的栅电极9;在结晶类硅基板1的另一个主面上依次叠层本征非晶硅层5、n型非晶硅层6,进而在其上形成ITO透明导电氧化物层7和由银构成的梳型形状的栅电极9,汇流条电极8将栅电极9的电流汇集起来。这种HIT太阳能电池按照以下的顺序制造。首先,使用等离子体CVD法,在结晶类基板1的一个主面上连续形成本征非晶硅层2、p型非晶硅层3,在另一个主面上连续形成本征非晶硅层5、n型非晶硅层6。接着使用溅射法在p型非晶硅层3和n型非晶硅层6上分别形成ITO透明导电层4和7,进而通过丝网印刷,在 ...
【技术保护点】
一种硅基异质结太阳能电池,包括晶硅基片,所述晶硅基片的受光面和背面分别设置有第一本征非晶层和第二本征非晶层,所述第一本征非晶层上设置有第一掺杂层,所述第二本征非晶层上设置有第二掺杂层,所述第一掺杂层上设置有第一透明导电层,所述第二掺杂层上设置有第二透明导电层,其特征在于:所述晶硅基片的受光面与第一本征非晶层之间插入有第一金属硫族化合物膜层和/或所述晶硅基片的背面与第二本征非晶层之间插入有第二金属硫族化合物膜层。
【技术特征摘要】
1.一种硅基异质结太阳能电池,包括晶硅基片,所述晶硅基片的受光面和背面分别设置有第一本征非晶层和第二本征非晶层,所述第一本征非晶层上设置有第一掺杂层,所述第二本征非晶层上设置有第二掺杂层,所述第一掺杂层上设置有第一透明导电层,所述第二掺杂层上设置有第二透明导电层,其特征在于:所述晶硅基片的受光面与第一本征非晶层之间插入有第一金属硫族化合物膜层和/或所述晶硅基片的背面与第二本征非晶层之间插入有第二金属硫族化合物膜层。2.根据权利要求1所述的硅基异质结太阳能电池,其特征在于:所述第二透明导电层上设置有一叠层结构,所述叠层结构包括依次叠层的第一金属氮化物膜层、金属膜层和第二金属氮化物膜层,所述第一金属氮化物膜层与第二透明导电层直接接触;所述第一金属氮化物膜层和/或第二金属氮化物膜层为锆氮化物膜层、钛氮化物膜层、铪氮化物膜层、镍氮化物膜层、铬氮化物膜层、钒氮化物膜层、铌氮化物膜层、钽氮化物膜层、钼氮化物膜层、钪氮化物膜层或它们的任一组合的氮化物膜层;所述金属膜层为银膜层、铝膜层、铜膜层、金膜层、铬膜层、钛膜层、铂膜层、镍膜层或它们的任一组合中的一种。3.一种硅基异质结太阳能电池,包括晶硅基片,所述晶硅基片的受光面设置有第一本征非晶层,所述第一本征非晶层上设置有一减反射层,所述晶硅基片的背面设置有第二本征非晶层,所述第二本征非晶层的表面区域内交错设置有第一掺杂层和第二掺杂层,所述第一掺杂层上设置有第一透明导电层,所述第二掺杂层上设置有第二透明导电层,其特征在于:所述晶硅基片的受光面与第一本征非晶层之间插入有第一金属硫族化合物膜层和/或所述晶硅基片的背面与第二本征非晶层之间插入有第二金属硫族化合物膜层。4.根据权利要求3所述的硅基异质结太阳能电池,其特征在于:所述第一透明导电层和第二透明导电层上分别设置有一叠层结构,所述叠层结构包括依次叠层的第一金属氮化物膜层、金属膜层和第二金属氮化物膜层,所述第一金属氮化物膜层分别与第一透明导电层和第二透明导电层直接接触;所述第一金属氮化物膜层和/或第二金属氮化物膜层为锆氮化物膜层、钛氮化物膜层、铪氮化物膜层、镍氮化物膜层、铬氮化物膜层、钒氮化物膜层、铌氮化物膜层、钽氮化物膜层、钼氮化物膜层、钪氮化物膜层或它们的任一组合的氮化物膜层;所述金属膜层为银膜层、铝膜层、铜膜层、金膜层、铬膜层、钛膜层、铂膜层、镍膜层或它们的任一组合中的一种。5.根据权利要求3所述的硅基异质结太阳能电池,其特征在于:所述第一本征非晶层与减反射层之间设置有一层掺杂层,所述掺杂层的导电类型与晶硅基片的一致。6.根据权利要求1或...
【专利技术属性】
技术研发人员:李艺明,邓国云,李浩,
申请(专利权)人:江苏神科新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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