【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及形状测定装置、涂敷装置及形状测定方法,特别地说,涉及测定透明膜的膜厚或在该透明膜的表面形成的凹凸部的高度的技术。
技术介绍
采用前端径为数十μm的涂敷针、光斑径为数μm~数十μm的激光的图形加工技术通过与微米级的精密定位技术组合,即使是微细的图形,也能够在规定的位置准确加工。因此,以往被用于平板显示器的修正操作、太阳能电池的划线操作等(例如,参照特开2007-268354号公报(专利文献1),特开2009-122259号公报(专利文献2),特开2009-237086号公报(专利文献3))。特别地是,采用涂敷针的加工技术能够涂敷点胶机不擅长的粘度高的糊料,因此,最近也用于比平板显示器厚的10μm以上的膜的形成。例如,用于MEMS(MicroElectroMechanicalSystems:微机电系统)、传感器等的半导体装置的电子电路图形、印刷基板布线的形成。另外,由未来具有前景的制造技术即印刷电子技术制作的图形也归类为厚膜,因此是今后有望扩大用途的加工技术。现有技术文献专利文献专利文献1:特开2007-268354号公报专利文献2:特开2009-122259号公报专利文献3:特开2009-237086号公报专利文献4:特开2008-286630号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题采用涂敷针的墨水涂敷中,涂敷墨水处的品质的判定是重要的。例如,专利文献3公开了通过墨水涂敷来修正构成液晶显示器的彩色滤光片中的缺陷的缺陷修正方法。该专利文献3中,拍摄包含修正处理前后的缺陷的区域的图像,比较修正处理前后的图像的亮度,根据比较结果来检测修正处理的 ...
【技术保护点】
一种测定透明膜的膜厚或在所述透明膜的表面形成的凹凸部的高度的形状测定装置,所述透明膜由单层或多层透明膜层叠形成,该形状测定装置包括:头部,其包含:输出白色光的照明装置;用于将所述照明装置射出的白色光分离为两个光束,使一方照射所述透明膜的所述表面而另一方照射参照面,使来自这两面的反射光干涉来获得干涉光的物镜;观察经由所述物镜获得的所述干涉光的观察光学系统;经由所述观察光学系统拍摄所述干涉光的拍摄装置;定位装置,其用于使所述头部与所述透明膜相对移动,使所述头部定位到所述透明膜的所述表面的上方的期望位置;以及形状检测部,其通过控制所述定位装置及所述拍摄装置,将所述物镜定位到所述透明膜的上方后,使从所述透明膜到所述物镜为止的上下方向的距离连续地变化的同时,拍摄多张所述干涉光的图像,根据拍摄到的所述多张的图像,检测所述透明膜的膜厚或所述凹凸部的高度,所述形状检测部执行:在所述拍摄装置的拍摄周期内,按拍摄顺序向拍摄到的所述多张图像附上图像编号,并对构成所述图像的多个像素的各个像素,求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理;以及所述拍摄装置拍摄所述多张图像后,根据由所述第1阶段处理求出的多个所述 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.07 JP 2014-1614221.一种测定透明膜的膜厚或在所述透明膜的表面形成的凹凸部的高度的形状测定装置,所述透明膜由单层或多层透明膜层叠形成,该形状测定装置包括:头部,其包含:输出白色光的照明装置;用于将所述照明装置射出的白色光分离为两个光束,使一方照射所述透明膜的所述表面而另一方照射参照面,使来自这两面的反射光干涉来获得干涉光的物镜;观察经由所述物镜获得的所述干涉光的观察光学系统;经由所述观察光学系统拍摄所述干涉光的拍摄装置;定位装置,其用于使所述头部与所述透明膜相对移动,使所述头部定位到所述透明膜的所述表面的上方的期望位置;以及形状检测部,其通过控制所述定位装置及所述拍摄装置,将所述物镜定位到所述透明膜的上方后,使从所述透明膜到所述物镜为止的上下方向的距离连续地变化的同时,拍摄多张所述干涉光的图像,根据拍摄到的所述多张的图像,检测所述透明膜的膜厚或所述凹凸部的高度,所述形状检测部执行:在所述拍摄装置的拍摄周期内,按拍摄顺序向拍摄到的所述多张图像附上图像编号,并对构成所述图像的多个像素的各个像素,求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理;以及所述拍摄装置拍摄所述多张图像后,根据由所述第1阶段处理求出的多个所述亮度成为波峰的图像编号,检测所述透明膜的膜厚或所述凹凸部的高度的第2阶段处理。2.如权利要求1所述的形状测定装置,其特征在于,所述形状检测部在所述第2阶段处理中,通过对按像素检测的所述透明膜的膜厚进行求和,来算出所述透明膜的体积。3.如权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,所述形状检测部在所述第1阶段处理中,将在当前的拍摄周期拍摄到的图像设为图像编号i的图像fi,i是1以上的整数,按所述图像fi的像素,算出包含所述图像fi的规定张数的连续图像中的亮度的平均值,并且算出表示亮度相对于所述平均值的偏差的亮度相对值,且将该亮度相对值成为阈值以上的像素设定成亮度呈现波峰的候补像素,所述图像fi中的所述候补像素的亮度相对值比最新的所述候补像素的亮度相对值大时,将所述亮度成为波峰的候补的图像编号更新为图像编号i,当所述亮度成为波峰的候补的图像编号以阈值张数连续未进行更新时,判定所述图像编号i是所述亮度成为波峰的图像编号。4.如权利要求3所述的形状测定装置,其特征在于,所述形状检测部在所述第1阶段处理中,将所述图像fi中的亮度相对值成为最小的像素设定成亮度呈现为波峰和波峰之间的波谷的候补像素,所述图像fi中的所述亮度相对值的最小值比最新的所述亮度相对值的最小值小时,将所述亮度成为波谷的候补的图像编号更新为图像编号i,判定所述亮度成为波峰的图像编号后,在所述亮度相对值的最小值以阈值张数连续未进行更新时,判定所述图像编号i是亮度成为波谷的图像编号。5.如权利要求4所述的形状测定装置,其特征在于,所述形状检测部通过按顺序反复执行判定所述亮度成为波峰的图像编号的处理和判定所述亮度成为波谷的图像编号的处理,求出多个所述亮度成为波峰的图像编号。6.如权利要求1到5的任一项所述的形状测定装置,其特征在于,所述形状检测部在所述第2阶段处理中,对所述多个亮度成为波峰的图像编号的各个图像编号,用以所述亮度成为波峰的图像编号的图像为中心的前后±n张的合计(2n+...
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