薄膜烘干机支架及薄膜烘干机制造技术

一种薄膜烘干机支架，包括立柱以及多个支撑部。多个所述支撑部设置于连接于所述立柱的不同高度处，用于支撑待烘干薄膜。每两个相邻的所述支撑部之间设置有间隔部，所述间隔部用于间隔相邻的所述支撑部上的待烘干薄膜，避免上方的所述薄膜因破片而掉落至下方的所述薄膜上。本发明专利技术还涉及一种具有所述薄膜烘干机支架的薄膜烘干机。通过在相邻的所述支撑部之间设置所述间隔部，能够防止破片发生时薄膜碎片掉落至下层薄膜而对下层薄膜造成损坏及/或污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示器面板制作领域，尤其涉及一种薄膜烘干机支架及薄膜烘干机。
技术介绍
在显示器面板制作过程中，需要将曝光显影后的薄膜放在烘干机内烘干，以将所述薄膜上形成的图案(pattern)固化，所述烘干机一般为枚叶式后烘设备，所述烘干机开设通气窗口。但是随着薄膜基板越来越薄、尺寸越来越大，基板破片的风险也在不断加大。对于薄膜烘干机而言，其内部空间有限，一旦基板在所述薄膜烘干机内发生破片，则碎片的清理难度极大，费时费力。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供易于清理碎片的薄膜烘干机支架及薄膜烘干机。一种薄膜烘干机支架，包括立柱以及多个支撑部。多个所述支撑部设置于连接于所述立柱的不同高度处，用于支撑待烘干薄膜。每两个相邻的所述支撑部之间设置有间隔部，所述间隔部用于间隔相邻的所述支撑部上的待烘干薄膜，避免上方的所述薄膜因破片而掉落至下方的所述薄膜上。进一步地，每一个所述间隔部包括板部以及设置于所述板部上的排气部。进一步地，所述板部的面积大于对应的所述间隔部所能支撑薄膜的最大面积。进一步地，所述板部的采用不锈钢制成。进一步地，所述板部的材料为SUS403。进一步地，每一个所述排气部包括两个排气管道，两个所述排气管道分别设置于对应的所述板部的两相背表面上。进一步地，每一个所述排气管道上开多个进气口，所述进气口沿所述排气管道的长度间隔排列并分别连通至排气设备。进一步地，所述进气口分为第一组进气口、第二组进气口、第三组进气口以及第四组进气口，所述第一组进气口及所述第四组进气口分别位于所述排气管道的两端，所述第二组进气口以及所述第三组进气口位于所述第一组进气口及所述第四组进气口之间，所述第一组进气口、所述第二组进气口、所述第三组进气口以及所述第四组进气口以并联的方式连通至所述排气设备。一种薄膜烘干机，其特征在于包括舱体以及设置于所述舱体内的上述的薄膜烘干机支架。进一步地，所述舱体设置有所述窗口，所述排气部靠近所述窗口设置。相对于现有技术，通过在相邻的所述支撑部之间设置所述间隔部，能够防止破片发生时薄膜碎片掉落至下层薄膜而对下层薄膜造成损坏及/或污染。附图说明图1为本专利技术实施方式的薄膜烘干机的示意图。图2为图1的薄膜烘干机的支架的立体图。图3为本专利技术实施方式的薄膜烘干机的排气部的示意图。图4为图3的排气部的俯视图。具体实施方式请参阅图1-4，所示为本专利技术实施方式提供的一种薄膜烘干机100。本实施方式中，所述薄膜烘干机100为TFT型LCD显示面板的彩膜(ColorFilter:CF)烘干机。可以理解，所述薄膜烘干机100也可以用于烘干其他类型的薄膜，不再赘述。所述薄膜烘干机100包括舱体10以及设置于所述舱体10内的支架20。所述舱体10用于提供并保持预定的烘干环境，例如，温度环境、气压环境以及气体环境等。具体地，所述舱体10可以包括底座11以及侧壁14，所述侧壁14上可以设置舱门141以及窗口(shutter)142。通过所述舱门141，可以取放薄膜；通过所述窗口142，所述舱体10内的气体可以排出，及/或通过所述窗口142，可以向所述舱体10内通入预定的气体。所述舱门141以及所述窗口142分别设置于所述舱体10的相对的侧壁14上。所述支架20用于支撑待烘干的膜片(图未示)，包括立柱21、支撑部22以及间隔部23。所述立柱21设置于所述舱体10的底座11上。本实施方式中，所述立柱21的数量为多个，且多个所述立柱21呈阵列状排列，更具体地，所述立柱21呈2×2阵列状排列。所述支撑部22用于支撑待烘干薄膜。本实施方式中，所述支撑部22为多个，多个所述支撑部22连接于所述立柱21的不同高度处，因此，不同的所述支撑部22将不同的待烘干薄膜支撑于不同高度处。换言之，所述薄膜烘干机100能够同时支撑多层的待烘干薄膜，多层待烘干薄膜之间相互间隔。每一个所述支撑部22包括多个横杆221，所述横杆221连接相邻的所述立柱21并收尾相接呈框形。所述横杆22与所述立柱21大致垂直相连。本实施方式中，所述横杆221的数量为四个，四个所述横杆221组成收尾相连呈矩形框状。每一个所述支撑部22还包括多个支撑柱222，所述支撑柱222形成于所述横杆221上，所述支撑柱222能够支撑待烘干薄膜。本实施方式中，所述支撑柱222形成于两个相对的所述横杆221上，所述相对的横杆221中的每一个上设有多个所述支撑柱222，所述支撑柱222沿对应的所述横杆221的长度方向均匀间隔排列。本实施方式中，每一个所述支撑部222的末端称锥状收缩，以减小与其支撑的待烘干薄膜之间的接触面积，保证烘干的效果和效率。所述间隔部23设置于相邻的所述支撑部22之间，用于防止发生破片的薄膜碎片对下层薄膜造成损坏及/或污染。每一个所述间隔部23包括板部231以及设置于所述板部231上的排气部232。所述板部231的面积大于对应的所述间隔部23所能支撑薄膜的最大面积，当其上方的薄膜发生破片时，所述板部231能够将上方破片产生的薄膜碎片全部接住而不会使碎片继续至下方的薄膜上，因此能够防止碎片对下方薄膜造成损坏及/或污染。本实施方式中，所述板部231大致呈矩形，可以理解，所述板部231的形状可以依据实际情况作任意合适的变化，例如，所述板部231的形状可以为圆形、椭圆形、多边形及其他规则或者不规则的形状。所述板部231采用稳定性好、耐高温、受热变形小且耐腐蚀的材料制成，本实施方式中，所述板部231采用不锈钢制成，具体地，所述板部231的材料为SUS403。本实施方式中，所述板部231靠近其上方相邻的所述支撑部22而设置。本实施方式中，所述板部231固定连接于所述支撑部22以及所述立柱21上。具体地，所述板部231通过螺栓紧固件(图未示)与所述横杆221相连，例如，所述横杆224的下表面上打孔后通过所述螺栓紧固件与所述板部231相连；所述板部231与所述立柱21之间采用L形固定支架相互连接。当然，在其他的实施方式，所述板部231与所述支撑部22及/或所述立柱21可以采用任意合适的方式相连，例如卡合、胶合、焊接等方式，不再一一详述。所述排气部232设置于所述板部231靠近所述窗口142的一侧，用于将烘干过程中产生的光刻胶(PR)等的升华物排出，防止所述升华物直接通过所述窗口142排除造成污染及对设备运行产生不良影响。本实施方式中，每一个所述排气部232包括两个排气管道2321，两个所述排气管道2321分别设置于对应的所述板部231的两相背表面上。本实施方式中，所述排气管道231为中空的长杆状，所述排气管道2321连接至排气设备上。每一个所述排气管道2321上开多个进气口2321a，所述进气口2321a沿所述排气管道2321的长度间隔排列。本实施方式中，所述进气口2321分为多组，具体地，所述进气口2321被分为第一组进气口g1、第二组进气口g2、第三组进气口g3以及第四组进气口g4，所述第一组进气口g1及所述第四组进气口g4分别位于所述排气管道2321的两端，所述第二组进气口g2以及所述第三组进气口g3位于所述第一组进气口g1及所述第四组进气口g4之间。所述第一组进气口g1及所述第四组进气口g4所包含的进气口2321的数量均为两个，所述第二组进气口g3及所书第三组进气口g本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜烘干机支架，包括立柱以及多个支撑部，多个所述支撑部设置于连接于所述立柱的不同高度处，用于支撑待烘干薄膜，其特征在于：每两个相邻的所述支撑部之间设置有间隔部，所述间隔部用于间隔相邻的所述支撑部上的待烘干薄膜，避免上方的所述薄膜因破片而掉落至下方的所述薄膜上。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜烘干机支架，包括立柱以及多个支撑部，多个所述支撑部设置于连接于所述立柱的不同高度处，用于支撑待烘干薄膜，其特征在于：每两个相邻的所述支撑部之间设置有间隔部，所述间隔部用于间隔相邻的所述支撑部上的待烘干薄膜，避免上方的所述薄膜因破片而掉落至下方的所述薄膜上。2.如权利要求1所述的薄膜烘干机支架，其特征在于：每一个所述间隔部包括板部以及设置于所述板部上的排气部。3.如权利要求2所述的薄膜烘干机支架，其特征在于：所述板部的面积大于对应的所述间隔部所能支撑薄膜的最大面积。4.如权利要求2所述的薄膜烘干机支架，其特征在于：所述板部的采用不锈钢制成。5.如权利要求4所述的薄膜烘干机支架，其特征在于：所述板部的材料为SUS403。6.如权利要求2所述的薄膜烘干机支架，其特征在于：每一个所述排气部包括两个排气管道，两个所述排气管道分别设置于对...

【专利技术属性】
技术研发人员：华新孝，朱晓江，廖洪林，徐先华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42