【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种碳化硅单晶生长炉领域内的升降旋转机构,具体的涉及一种小炉盖升降旋转机构。
技术介绍
在半导体器件的应用方面,随着碳化硅生产成本的降低,碳化硅由于其优良的性能而可能取代硅作芯片,打破硅芯片由于材料本身性能的瓶颈,将给电子业带来革命性的变革。目前碳化硅的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件,未来手机和笔记本电脑的背景光市场将给碳化硅提供巨大的需求增长。同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。碳化硅单晶生长炉属于高真空密封装置,对真空泄漏率的要求很高。由于晶体工艺要求,需要增加小炉盖上升旋转开启功能,便于拆装内部热场件。晶体生长过程,需要小炉盖与下方炉室密封,目前的技术关于小炉盖旋转机构的创造较少,拆装复杂、真空密封效果差。为此,如何提供一种小炉盖升降旋转机构,是本技术研究的目的。实用新内容为克服现有技术不足,本技术提供一种小炉盖升降旋转机构,在长晶前装料和长晶后取晶时,通过升降平台,提升小炉盖并旋转至相应位置,便于后续工序操作,同时保证了真空密封的效果。为解决现有技术问题,本技术所采用的技术方案是:一种小炉盖升降旋转机构,包括炉台、上炉室、小炉盖、托架、观察窗、锁紧螺母、旋转托盘、支撑轴、直线轴承和气缸,所述的炉台上分别设置有上炉室、气缸和支撑轴,所述的上炉室上设置有小炉盖,所述的小炉盖正上方中心位置设有观察窗;所述的气缸移动端板上固定设置有旋转托盘,所述的旋转托盘上表面通过锁紧螺母与托架一端固定连接,所述的托架另一端与小炉盖上表面固定连接;所述的旋转托盘下表面通过气缸的移动端板与支撑轴相连;所述的支撑轴设置有直线轴承。进一步的 ...
【技术保护点】
一种小炉盖升降旋转机构,其特征在于:包括炉台、上炉室、小炉盖、托架、观察窗、锁紧螺母、旋转托盘、支撑轴、直线轴承和气缸,所述的炉台上分别设置有上炉室、气缸和支撑轴,所述的上炉室上设置有小炉盖,所述的小炉盖正上方中心位置设有观察窗;所述的气缸移动端板上固定设置有旋转托盘,所述的旋转托盘上表面通过锁紧螺母与托架一端固定连接,所述的托架另一端与小炉盖上表面固定连接;所述的旋转托盘下表面通过气缸的移动端板与支撑轴相连;所述的支撑轴设置有直线轴承。
【技术特征摘要】
1.一种小炉盖升降旋转机构,其特征在于:包括炉台、上炉室、小炉盖、托架、观察窗、锁紧螺母、旋转托盘、支撑轴、直线轴承和气缸,所述的炉台上分别设置有上炉室、气缸和支撑轴,所述的上炉室上设置有小炉盖,所述的小炉盖正上方中心位置设有观察窗;所述的气缸移动端板上固定设置有旋转托盘,所述的旋转托盘上表面通过锁紧螺母与托架一端固定连接,所述的托架另一端与小炉盖上表面固定连接;所述的旋转托盘下表面通过气缸的移动端板与支撑轴相连;所述的支撑轴...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑清超,赵玉梅,杨坤,高宇,
申请(专利权)人:河北同光晶体有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。