一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，所述方法包括：在衬底基板上形成有机发光二极管、第一防水层、含氟聚合物层、光阻层；对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层。本发明专利技术的柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，有效地增强光的散射效果，提高了出光率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法。
技术介绍
有机发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)，由于其具有高对比度、广色域、自发光、响应速度快等优点，在显示和照明领域被广泛地应用，特别是在柔性显示领域OLED显示出其他显示技术所不具备的巨大市场潜力。然而，目前制约柔性显示器发展的因素在于器件的封装能力，现有的柔性OLED器件很容易在弯曲、折叠时造成封装膜的断裂或剥离。且由于有机发光层的材料与电极的材料之间的折射率差异或者基板的材料以及空气之间折射率的差异，导致大量的光子被限制在基板内，或会通过激发阴极表面等离子的模式在有机材料和阴极界面之间耗散，因此导致OLED器件的实际出光效率比较低。因此，有必要提供一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，以解决现有技术的有机发光二极管显示器出光率比较低的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术构造了一种柔性有机发光二极管显示器的制作方法，包括以下步骤：在衬底基板上形成有机发光二极管；在所述有机发光二极管上形成第一防水层；在所述第一防水层上形成含氟聚合物层；在所述含氟聚合物层上形成光阻层，对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部，相邻两个所述光阻部靠近所述第一防水层之间的间隙大于其远离所述第一防水层之间的间隙；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部，其中所述聚合部与所述光阻部的位置相对应；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层；其中，所述缓冲层的材料为有机材料，所述第一防水层、所述第二防水层以及所述出光增强层的材料为无机材料。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述光阻部的截面形状为四边形，所述光阻部具有两个相对设置的侧面，所述侧面与所述含氟聚合物层所在的平面之间的锐角角度小于等于预设角度。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述光阻部还包括下端面和上端面，所述聚合部的宽度与所述下端面的宽度之间的差值位于预设范围内。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述含氟聚合物层的厚度小于等于所述光阻层的厚度。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述出光增强部的厚度小于所述聚合部的厚度。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述聚合部的截面形状为矩形。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述出光增强部具有弧形的顶部。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述缓冲层的厚度大于所述出光增强部的厚度。在本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法中，所述出光增强层的材料包括Al2O3、TiO2、SiNx、SiCNx以及SiOx中的至少一种。本专利技术还提供一种柔性有机发光二极管显示器，其包括：有机发光二极管，位于衬底基板上；封装层，位于所述有机发光二极管上；其包括：第一防水层；出光增强层，包括多个间隔设置的出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；缓冲层，位于所述出光增强部上；第二防水层，位于所述缓冲层上，其中所述第一防水层、所述第二防水层以及所述出光增强层的材料为无机材料，所述缓冲层的材料为有机材料。本专利技术的柔性有机发光二极管显示器及其制作方法，通过制作无机材料与有机材料交替的薄膜封装层，从而可以避免封装层被损坏，同时在封装层中设置出光增强结构，还能有效地增强光的散射效果，提高了出光率。【附图说明】图1为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第一步的结构示意图；图2为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第二步的结构示意图；图3为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第三步的结构示意图；图4为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第四步的结构示意图；图5为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第五步的结构示意图；图6为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第六步的结构示意图；图7为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第七步的结构示意图；图8为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第八步的结构示意图。【具体实施方式】以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。请参照图1，图1为本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法的第一步的结构示意图。本专利技术的柔性有机发光二极管显示器的制作方法包括：S101、在所述有机发光二极管上形成第一防水层；如图1所示，在有机发光二极管10上形成第一防水层11，该第一防水层11的材料为无机材料，比如为氧化铝Al2O3、二氧化钛TiO2、氮化硅SiNx、SiCNx、纳米二氧化硅SiOx中的一种或者几种。该有机发光二极管包括阳极层、有机发光层以及阴极层，具体地比如将制备好的有机发光二极管放置在等离子体增强化学气相沉积法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)、ALD(原子力沉积)、PLD(脉冲激光沉积)或Sputter(溅射)的腔室中，通过在阴极层上沉积或者溅射具有防水效果的无机材料，得到第一防水层。S 102、在所述第一防水层上形成含氟聚合物层；如图2所示，比如将具有防水层的有机发光二极管移至手套箱中，通过涂布方式在第一防水层11上形成含氟聚合物的材料，并在80度下固化1个小时，得到含氟聚合物层12；该含氟聚合物层12的厚度比如为1至2微米。S 103、在所述含氟聚合物层上形成光阻层，对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部；如图3所示，比如在含氟聚合物层12上涂布光阻材料，以形成整层光阻层，然后对整层光阻层进行曝光、显影、形成多个光阻部13，相邻两个所述光阻部13靠近所述第一防水层之间的间隙大于其远离所述第一防水层之间的间隙，也即下方的光阻部之间的间距大于上方的光阻部之间的间距，以便于限定形成具有散射效果的出光增强部。优选地，所述光阻部13的截面形状为四边形，比如等腰梯形等，所述光阻部13具有两个相对设置的侧面，左侧面和右侧面，比如右侧面与所述含氟聚合物层12所在的平面之间的角度小于等于45度；左侧面与所述含氟聚合物层所在的平面之间锐角角度小于等于45度，更加有利于形成弧形顶面的出光增强部，使其散射效果更好。S104、对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部，其中所述聚合部与所述光阻部的位置相对应；如图4所示，通过氧气等离子体干刻法对含氟聚合物层12进行刻蚀，以得到多个聚合部121，该聚合部121与光阻部13的位置相对应。优选地，所述光阻部13还包括下端面和上端面(比如下表面和上表面)，所述聚合部121的宽度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成有机发光二极管；在所述有机发光二极管上形成第一防水层；在所述第一防水层上形成含氟聚合物层；在所述含氟聚合物层上形成光阻层，对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部，相邻两个所述光阻部靠近所述第一防水层之间的间隙大于其远离所述第一防水层之间的间隙；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部，其中所述聚合部与所述光阻部的位置相对应；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层；其中，所述缓冲层的材料为有机材料，所述第一防水层、所述第二防水层以及所述出光增强层的材料为无机材料。

【技术特征摘要】
1.一种柔性有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成有机发光二极管；在所述有机发光二极管上形成第一防水层；在所述第一防水层上形成含氟聚合物层；在所述含氟聚合物层上形成光阻层，对所述光阻层进行图案化处理，以形成多个光阻部，相邻两个所述光阻部靠近所述第一防水层之间的间隙大于其远离所述第一防水层之间的间隙；对所述含氟聚合物层进行刻蚀，以形成多个聚合部，其中所述聚合部与所述光阻部的位置相对应；在所述光阻部上沉积出光增强层的材料，以在所述聚合部之间形成出光增强部，所述出光增强部用于提高所述有机发光二极管的出光率；去除所述含氟聚合物层和所述光阻层；在所述出光增强部上制作缓冲层；以及在所述缓冲层上制作第二防水层；其中，所述缓冲层的材料为有机材料，所述第一防水层、所述第二防水层以及所述出光增强层的材料为无机材料。2.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，所述光阻部的截面形状为四边形，所述光阻部具有两个相对设置的侧面，所述侧面与所述含氟聚合物层所在的平面之间的锐角角度小于等于预设角度。3.根据权利要求2所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，所述光阻部还包括下端面和上端面，所述聚合部的宽度与所述下端面的宽度之间的差值位于预设范围内。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：金江江，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42