一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元；一显影机；一等离子体干法刻蚀机。所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石，属于在蓝宝石表面精加工出CD纹，所形成的CD纹不脱落，不易划伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于表面处理
，具体地，涉及一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统。
技术介绍
CD是英文Compact Disc的缩写，中文意思是“压缩光盘”，简称“光盘”，CD纹是应用精密的CD纹机在金属表面去除材料而得到的一种类似与CD光盘纹路的效果。现有的CD纹加工系统有三类：1）CNC机床精雕加工系统，不适用于脆性的蓝宝石表面；2）采用印刷油墨然后烘烤的加工系统，此适用于蓝宝石、玻璃等硬性材质表面；3）采用制作CD纹模具模压UV透明树脂进行固化的加工系统，适用于塑性材料和金属表面。其中，对于第一种加工系统，目前国内主要存在如下专利文献：专利公开号：CN105234493A，公开了一种CD纹机，包括机架、装夹机构、驱动装夹机构转动的动力装置、及驱动对工件进行CD纹加工的刀轴机构，装夹机构包括用于固定连接于机架的定位座、和可转动地连接于定位座的拉杆；拉杆上侧设置有夹筒和用于锁紧夹筒的夹筒套；夹筒的外壁横截面呈圆形，且夹筒的外壁向下逐渐增大；夹筒套套设于夹筒外壁，且拉杆连接于夹筒套并使得夹筒套恒具有向下夹紧夹筒的动作趋势；刀轴机构包括进给气缸、连接于进给气缸输出端的定位板、进给气缸驱动的加工刀具、限位基准面、及连接于定位板且位于限位基准面一侧的缓冲器；当进给气缸驱动加工刀具向工件移动时，缓冲器逐渐靠近并抵顶限位基准面。该CD纹机能够提高工件的加工质量。然而，该专利主要通过加工刀具在工件表面形成CD纹，但对于硬度较大的蓝宝石而言，采用刀具很难在蓝宝石表面形成CD纹，故该专利所提供的CD纹机并不适用于蓝宝石表面的CD纹加工。对于第二种加工系统，在蓝宝石表面加工的CD纹，其CD纹材质为油墨，附着于蓝宝石表面，容易脱落、划伤。对于第三种加工系统，同样不适用于蓝宝石表面的CD纹加工。
技术实现思路
为解决上述存在的问题，本技术的目的在于提供一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石，属于在蓝宝石表面精加工出CD纹，所形成的CD纹不脱落，不易划伤。为达到上述目的，本技术的技术方案是：一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机，形状为一箱体，其包括：设置于上表面的第一指示灯，设置于一侧面的至少一个涂胶腔室，设置于相邻侧面的与所述涂胶腔室对应并连通的第一进/出料腔室，该侧面还设有第一触控显示屏、第一排风压力计、第一流量计，所述第一排风压力计及第一流量计的一端分别伸入涂胶腔室内侧、另一端分别与所述第一触控显示屏电连接，所述第一指示灯与第一触控显示屏电连接；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元，两单元形状均为箱体，所述控制单元包括：所述控制单元包括：设置于一侧表面上部的掩膜版对位CCD显示屏、设备系统显示屏及蜂鸣器，凸设于该侧表面中部的操控台，该操控台上设有掩膜版对位信号表、载台位置数字显示屏及键盘；所述曝光单元包括：设置于一侧的掩膜版放置腔室，所述掩膜版放置腔室下方设有第二进/出料腔室、上方设有压缩空气计、第一真空计及汞灯电流表，所述曝光单元相对控制单元的另一侧设有冷却水流量计，所述压缩空气计、第一真空计、汞灯电流表及冷却水流量计的一端分别伸入所述掩膜版放置腔室内，所述掩膜版对位CCD摄像头设置于所述掩膜版放置腔室内；一显影机，形状为箱体，其包括：设置于上表面的第二指示灯，设置于一侧面的至少一个显影腔室，设置于相邻侧面的并与所述显影腔室连通的第三进/出料腔室，该侧面还设有第二触控显示屏、第二真空计、第二排风压力计、第二流量计，所述第二真空计、第二排风压力计及第二流量计的一端分别伸入显影腔室内侧、另一端分别与所述第二触控显示屏电连接，所述第二指示灯与第二触控显示屏电连接；一等离子体干法刻蚀机，形状为一箱体，其包括：间隔设置于上表面的第三指示灯、风机过滤单元及排风接口，设置于一侧面的第三触控显示屏、第四进/出料腔室、启动键及电源指示灯，所述第三指示灯、风机过滤单元、启动键及电源指示灯分别与所述第三触控显示屏电连接。进一步 ，所述涂胶腔室的数量为2个，并列排布，对应地，所述第一进/出料腔室数量为2个，包括左进/出料腔室和右进/出料腔室，并列排布，所述旋涂式匀胶机还包括：鼠标和键盘，输出端分别与所述第一触控显示屏输入端电连接；3个第一紧急停止按钮，2个分别设置于所述两涂胶腔室下方，另一个设置于所述第一进/出料腔室下方；一第一观察视窗，与所述第一触控显示屏分别位于所述第一进/出料腔室两侧。另，所述步进式光刻机控制单元还包括分别设置于所述操控台上的暂停按钮及掩膜版手动对位摇杆，所述掩膜版手动对位摇杆端部伸入掩膜版放置腔室内。另有，所述步进式光刻机曝光单元第二进/出料腔室数量为2个，包括左进/出料腔室和右进/出料腔室，并列间隔排布，所述掩膜版放置腔室上方设有一第二紧急停止按钮。再，所述显影腔室的数量为3个，并列排布，所述第三进/出料腔室数量为2个，包括左进/出料腔室和右进/出料腔室，并列排布，所述显影机还包括：鼠标和键盘，输出端分别与所述第二触控显示屏输入端电连接；4个第三紧急停止按钮，3个分别设置于所述3个显影腔室下方，另一个设置于所述第三进/出料腔室下方；一第二观察视窗，与所述第二触控显示屏分别位于所述第三进/出料腔室两侧。再有，所述第三触控显示屏所在的等离子体干法刻蚀机侧面上还设有一用于操控第三触控显示屏的触控笔以及一第四紧急停止按钮。且，所述蓝宝石表面CD纹的莫氏硬度为9。本技术的有益效果在于：本技术所述一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，采用旋涂式匀胶机、步进式光刻机、显影机和等离子体干法刻蚀机四机依次进行涂胶、曝光、显影、刻蚀的加工顺序，对蓝宝石进行CD纹加工，加工得到的CD纹为蓝宝石材质，不仅使蓝宝石具有CD纹的外观，而且使得加工所得CD纹同时具有蓝宝石的全部特性，莫氏硬度为9，效率高，精度高（可达到纳米级，最小CD纹线宽和线距可达到300nm）。附图说明图1为本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统的组成示意图。图2为本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中旋涂式匀胶机的结构示意图。图3为本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中步进式光刻机的结构示意图。图4为本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中显影机的结构示意图。图5为本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中等离子体干法刻蚀机的结构示意图。图6是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中旋涂式匀胶机涂胶处理后的蓝宝石侧视结构示意图。图7是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中步进式光刻机进行曝光处理后的蓝宝石侧视结构示意图。图8是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中显影机显影处理后的蓝宝石侧视结构示意图。图9是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中等离子体干法刻蚀机刻蚀处理后的蓝宝石侧视结构示意图。图10是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统中加工完成后蓝宝石及表面CD纹的侧视结构示意图。图11是本技术所提供的一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统在蓝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机，形状为一箱体，其包括：设置于上表面的第一指示灯，设置于一侧面的至少一个涂胶腔室，设置于相邻侧面的与所述涂胶腔室对应并连通的第一进/出料腔室，该侧面还设有第一触控显示屏、第一排风压力计、第一流量计，所述第一排风压力计及第一流量计的一端分别伸入涂胶腔室内侧、另一端分别与所述第一触控显示屏电连接，所述第一指示灯与第一触控显示屏电连接；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元，两单元形状均为箱体，所述控制单元包括：设置于一侧表面上部的掩膜版对位CCD显示屏、设备系统显示屏及蜂鸣器，凸设于该侧表面中部的操控台，该操控台上设有掩膜版对位信号表、载台位置数字显示屏及键盘；所述曝光单元包括：设置于一侧的掩膜版放置腔室，所述掩膜版放置腔室下方设有第二进/出料腔室、上方设有压缩空气计、第一真空计及汞灯电流表，所述曝光单元相对控制单元的另一侧设有冷却水流量计，所述压缩空气计、第一真空计、汞灯电流表及冷却水流量计的一端分别伸入所述掩膜版放置腔室内，所述掩膜版对位CCD摄像头设置于所述掩膜版放置腔室内；一显影机，形状为箱体，其包括：设置于上表面的第二指示灯，设置于一侧面的至少一个显影腔室，设置于相邻侧面的并与所述显影腔室连通的第三进/出料腔室，该侧面还设有第二触控显示屏、第二真空计、第二排风压力计、第二流量计，所述第二真空计、第二排风压力计及第二流量计的一端分别伸入显影腔室内侧、另一端分别与所述第二触控显示屏电连接，所述第二指示灯与第二触控显示屏电连接；一等离子体干法刻蚀机，形状为一箱体，其包括：间隔设置于上表面的第三指示灯、风机过滤单元及排风接口，设置于一侧面的第三触控显示屏、第四进/出料腔室、启动键及电源指示灯，所述第三指示灯、风机过滤单元、启动键及电源指示灯分别与所述第三触控显示屏电连接。...

【技术特征摘要】
1.一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机，形状为一箱体，其包括：设置于上表面的第一指示灯，设置于一侧面的至少一个涂胶腔室，设置于相邻侧面的与所述涂胶腔室对应并连通的第一进/出料腔室，该侧面还设有第一触控显示屏、第一排风压力计、第一流量计，所述第一排风压力计及第一流量计的一端分别伸入涂胶腔室内侧、另一端分别与所述第一触控显示屏电连接，所述第一指示灯与第一触控显示屏电连接；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元，两单元形状均为箱体，所述控制单元包括：设置于一侧表面上部的掩膜版对位CCD显示屏、设备系统显示屏及蜂鸣器，凸设于该侧表面中部的操控台，该操控台上设有掩膜版对位信号表、载台位置数字显示屏及键盘；所述曝光单元包括：设置于一侧的掩膜版放置腔室，所述掩膜版放置腔室下方设有第二进/出料腔室、上方设有压缩空气计、第一真空计及汞灯电流表，所述曝光单元相对控制单元的另一侧设有冷却水流量计，所述压缩空气计、第一真空计、汞灯电流表及冷却水流量计的一端分别伸入所述掩膜版放置腔室内，所述掩膜版对位CCD摄像头设置于所述掩膜版放置腔室内；一显影机，形状为箱体，其包括：设置于上表面的第二指示灯，设置于一侧面的至少一个显影腔室，设置于相邻侧面的并与所述显影腔室连通的第三进/出料腔室，该侧面还设有第二触控显示屏、第二真空计、第二排风压力计、第二流量计，所述第二真空计、第二排风压力计及第二流量计的一端分别伸入显影腔室内侧、另一端分别与所述第二触控显示屏电连接，所述第二指示灯与第二触控显示屏电连接；一等离子体干法刻蚀机，形状为一箱体，其包括：间隔设置于上表面的第三指示灯、风机过滤单元及排风接口，设置于一侧面的第三触控显示屏、第四进/出料腔室、启动键及电源指示灯，所述第三指示灯、风机过滤单元、启动键及电源指示灯分别与所述第三触控显示屏电连接。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈厚军，赵博，李建勳，郑松森，
申请(专利权)人：南京京晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32