下载一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统的技术资料

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本实用新型提供一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统,所述加工系统包括:一旋涂式匀胶机;一步进式光刻机,包括:并列间隔排布的控制单元和曝光单元;一显影机;一等离子体干法刻蚀机。所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石,属于在蓝宝石表面精加工出CD...
该专利属于南京京晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京京晶光电科技有限公司授权不得商用。

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