金属纳米球和微球的形成制造技术

技术编号:13342860 阅读:9 留言:0更新日期:2016-07-13 20:32
本发明专利技术涉及金属纳米球和微球的形成。形成了半球(18)和球(28)并且将它们用于多种应用。半球(18)用于形成具有上表面和下表面的衬底(12)。所述上表面包括具有附着到所述下表面的基底的柱(10)的峰。所述峰具有在所述上表面处由半球金属结构(18)的阵列限定的密度,所述半球金属结构在所述柱的形成期间在蚀刻以去除衬底材料向下到所述下表面的期间用作掩模。所述柱是密集且均匀的并且包括微米级平均直径。所述球被形成为用于其它应用的独立的金属球或纳米颗粒。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种纳米颗粒,包括:具有小于1微米的直径的金属球(204),其通过采用表面张力而形成在非润湿表面上;所述金属球具有根据形成所述金属球的金属膜的厚度和沉积速率限定的所述直径。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:A·J·洪郑宇植金志焕罗载雄D·K·萨达那
申请(专利权)人:国际商业机器公司
类型:发明
国别省市:美国;US

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