【技术实现步骤摘要】
一种传感器响应测量装置
本技术涉及一种质量流量控制器,尤其涉及一种传感器响应测量装置。
技术介绍
质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下全部简称MFC)应用于精密的测量和控制气体的质量流量。在一定范围内的气压和温度的变化情况下,它的测量和控制精度不受影响。 如图1所示,MFC由分流器、传感器、电路板和调节阀四个部分组成,分流器、传感器及电路板的测量部分组成了 MFC的流量测量单元。调节阀与电路板的控制部分组成了MFC的控制系统。 当气体进入MFC时,气流首先由传感器和分流器一分为二:气体的一部分流入传感器,其质量流量的大小由传感器测量;气体的其它部分流过分流器,其大小由分流器决定。分流器的规格与量程范围的大小成比例。流经传感器的气体会使传感器电桥产生一个微小的电压差,该电压差通过电路板上的流量放大电路,最后显示出气体的真实流量。将真实的流量与设定(期望流量)进行比较并调节阀的大小即达到了控制功能。 影响质量流量控制器性能主要有三个要素:传感器的温漂、质量流量控制器的PID调节和电磁阀性能。质量流量控制器改进系统主要针对这三个要素,强化MFC的工作性能,增强可靠性。 现有技术中对传感器响应时间测试的装置和方法复杂且不够精确。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可以快速、精确的测量质量流量控制器中传感器的响应时间的传感器响应测量装置。 本技术的目的是通过以下技术方案实现的: 本技术的传感器响应测量装置,包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路; 所述气路反应时间测定管路包括:在气源 ...
【技术保护点】
一种传感器响应测量装置,其特征在于,包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路;所述气路反应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、被测样机,所述被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接;所述传感器响应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、流量控制器,所述流量控制器的出口与所述截止阀和所述被测样机分别连接,所述被测样机的出口与所述压力传感器连接。
【技术特征摘要】
1.一种传感器响应测量装置,其特征在于,包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路; 所述气路反应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、被测样机,所述被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接; 所述传感器响应时间测定管路包括...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴薇,蒋兴东,李甲,
申请(专利权)人:北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。