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可在诸如FOUPS的晶片容器内的顶部晶片以上设置一个或多个粒子罩，以防止微粒积聚在晶片上。该粒子罩或屏障可由兼容的材料形成以保持低于5%的RH，特别是不会吸收大量水以及将所吸收的水分带入容器中的材料。在实施方式中，发现合适的特别材料包括环烯...
该专利属于恩特格里公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里公司授权不得商用。

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