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本发明提供氮化硅烧结体，实施方式的氮化硅烧结体含有：铝，以氧化物换算量计为2～10质量%的范围；R元素，为选自稀土元素中的至少一种，以氧化物换算量计为1～5质量%的范围；M元素，为选自IVA族元素、VA族元素和VIA族元素中的至少一种，以氧...
该专利属于株式会社东芝;东芝高新材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝;东芝高新材料公司授权不得商用。

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