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本发明公开了一种晶舟，其包括主体部及挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安...
该专利属于颀中科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过颀中科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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