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本发明是有关于一种外延成长方法，包括：提供一衬底；提供一溶剂及一溶质，设置于衬底表面，液化溶剂使溶质溶在溶剂内，以形成一熔融液于衬底表面；通入一碳源气体，其具有一稀释气体及一反应气体；以及形成一外延层于衬底表面；其中，熔融液通过一温度梯度熔...
该专利属于铼钻科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铼钻科技股份有限公司授权不得商用。

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