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非接触式搬送设备制造技术
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文档序号:9924881
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本发明抑制在以非接触的方式搬送板状构件(W)时该板状构件的转动。用于非接触地搬送板状构件(W)的非接触式搬送设备(1)设置有:板状基板;以及多个旋流形成体,其设置在该基板上。每个旋流形成体均设置有:柱状主体;圆筒室,其形成在该柱状主体内部,...
该专利属于哈莫技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过哈莫技术股份有限公司授权不得商用。
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