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本发明的实施方式提供用于支撑基板的基板支撑边缘环。一个实施方式中，提供一种基板支撑环。该基板支撑环包含环状主体。该环状主体包含：外条带，该外条带从外环状侧壁径向向内延伸；以及基板支撑区域，该基板支撑区域从外条带的内侧部分向内延伸，其中该环状...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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