下载一种高清晰度数字X射线平板探测器的制造方法的技术资料

文档序号:9907528

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本发明公开了一种高清晰度数字X射线平板探测器的制造方法,具体步骤包括:将衬底用超声法洗净并烘干保存;将薄膜晶体管阵列的生长在衬底上;将非晶硒半导体材料在薄膜晶体管阵列上方以真空蒸镀的方式生成薄膜;将电子封闭层铺设到非晶硒半导体材料上;将X射...
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