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柔性F掺杂SnO2透明导电薄膜及制备方法技术
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文档序号:9893311
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本发明公开了一种柔性F掺杂SnO2透明导电薄膜及制备方法,制备方法为:(1)取SnO2和SnF2粉体,混合均匀压制成板,升温,制备成F掺杂的SnO2靶材;(2)将清洁的聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底用氮气吹干放在磁控溅射仪样品台上;将F掺杂的Sn...
该专利属于滨州学院所有,仅供学习研究参考,未经过滨州学院授权不得商用。
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