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本发明是一种用于在使工件(W)的表面与粘贴于平台(3)上的砂布(2)滑动接触而进行研磨时保持上述工件的研磨头(1)，该研磨头的特征是，至少具有：用于保持上述工件的背面的、由陶瓷构成且具有挠性的工件保持盘(12)；形成于该工件保持盘的与保持上...
该专利属于信越半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体株式会社授权不得商用。

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