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本发明公开一种发光二极管的制作方法，其包括提供一外延基板，外延基板具有一第一表面与一第二表面，第一表面与第二表面分别位于外延基板的相反侧；形成一外延结构于外延基板的第一表面上，外延结构具有一第一半导体层及一第二半导体层；形成一沟槽于外延结构...该专利属于奇力光电科技股份有限公司; 佛山市奇明光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇力光电科技股份有限公司; 佛山市奇明光电有限公司授权不得商用。