下载一种带有氮化硅涂层的石英坩埚的制备方法及一种多晶硅铸锭的方法的技术资料

文档序号:9862016

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本发明提供了一种带有氮化硅涂层的石英坩埚的制备方法,该方法将氮化硅浆料喷涂于石英坩埚内的底部和侧壁,然后进行烘干,得到带有氮化硅涂层的石英坩埚。本发明提供了一种多晶硅铸锭的方法,该方法向上述制备方法得到的带有氮化硅涂层的石英坩埚装填多晶硅料...
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