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本发明提供了特别用作光致抗蚀剂组合物组分的生酸剂化合物。在一个优选的方面，本发明提供了环锍盐和包含这种化合物的光致抗蚀剂组合物。在另一个优选的方面，本发明还提供了包含一个或多个共价连接的酸不稳定性部分，特别是含有酯的酸不稳定性部分的生酸剂化...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料有限公司授权不得商用。

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