下载空间微电子产业用纳米二硫化钼-铜基电接触薄膜及制备方法的技术资料

文档序号:9856917

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本发明公开一种空间微电子行业用纳米二硫化钼-铜电接触薄膜及其制备方法。所述薄膜组分质量比为铜:二硫化钼=(94~97):(6~3),薄膜厚度为10~70微米,薄膜孔隙率小于1%;电导率真空热处理后最高可达62IACS%;在滑动速度为≤0.2...
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