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本发明公开了一种隔垫物检测装置及方法。该方法包括：产生透过带有隔垫物的基板的X射线，接收透过基板的X射线并形成灰度图像；利用灰度图像测量隔垫物的高度。本发明采用X射线成像原理对彩膜基板上的隔垫物进行检测，利用X射线荧光转换装置产生可见光并生...该专利属于合肥京东方光电科技有限公司; 京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥京东方光电科技有限公司; 京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。