下载铟锡氧化物的透明导电层状镀层的技术资料

文档序号:984363

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包含铟锡氧化物薄膜的透明导电装置,该装置通过提供铟锡氧化物薄膜来改进,该铟锡氧化物薄膜包含渐次变化的单个铟锡氧化物层的层叠,其中层中的锡的原子百分比可以单独选择。薄膜的每个铟锡氧化物层包含1-99原子百分比的锡。每层是通过物理气相沉积过程或...
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