下载肖特基垫垒二极管及其制造方法的技术资料

文档序号:9841562

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本发明涉及肖特基垫垒二极管及其制造方法。一种肖特基势垒二极管,可以包括配置在n+型碳化硅衬底的第一表面上的第一n-型外延层,配置在第一n-型外延层中的第一p+区,配置在第一n-型外延层和第一p+区上的第二n型外延层,配置在第二n型外延层中的...
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