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具有改进夹具的半导体键合设备及其封装方法技术
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文档序号:9834949
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本发明提供一种具有改进夹具的半导体键合设备及其封装方法,其中该夹具包括基座以及安装于基座上的压爪,其中所述压爪包括将压爪固定于基座上的固定部、若干金属杆以及将若干金属杆一一相连的若干铰链,所述若干金属杆中其中一个固持于所述固定部上,调节所述...
该专利属于无锡华润安盛科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润安盛科技有限公司授权不得商用。
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