下载一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置的技术资料

文档序号:9828498

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置。它由一固定瓣和两交替轮换瓣组成真空镀膜室;两轮换瓣内附有可扩展的镀件转架,其在于镀件转架上可灵活变换镀件挂轴数量以及电极数量。...
该专利属于深圳市特艺实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市特艺实业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。