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一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置的技术资料
文档序号:9828498
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一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置。它由一固定瓣和两交替轮换瓣组成真空镀膜室;两轮换瓣内附有可扩展的镀件转架,其在于镀件转架上可灵活变换镀件挂轴数量以及电极数量。...
该专利属于深圳市特艺实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市特艺实业有限公司授权不得商用。
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