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本发明涉及一种可实现高附着力、高硬度、低摩擦系数类金刚石膜的涂层设备，它包括涂层室、行星旋转工件架、磁过滤弧源、分子泵。本发明采用磁过滤功能与高真空多弧靶结构，采用本发明制作的类金刚石膜涂层具有结构致密、附着力强、硬度高、摩擦系数小等优点。...
该专利属于湖南中航超强金刚石膜高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南中航超强金刚石膜高科技有限公司授权不得商用。

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