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本发明提供的一种复合掩模组件的制作方法通过步骤S1、选材贴膜;S2、曝光显影;S3、蚀刻处理;S4、镭射处理形成具有支撑功能的合金板材支撑层以及具有图像区域的掩模层,如此可以更好的解决传统工艺中下垂问题,进而改善产品的精度和质量,使制造更大...该专利属于昆山允升吉光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山允升吉光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供的一种复合掩模组件的制作方法通过步骤S1、选材贴膜;S2、曝光显影;S3、蚀刻处理;S4、镭射处理形成具有支撑功能的合金板材支撑层以及具有图像区域的掩模层,如此可以更好的解决传统工艺中下垂问题,进而改善产品的精度和质量,使制造更大...