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本发明提供电子装置及其制造方法、以及振荡器，该电子装置能够抑制对配置有功能元件的空腔部进行划定的覆盖层发生挠曲。电子装置（100）包含：基板（10）；空腔部（30），其形成在基板（10）的上方，在内部配置有功能元件（20）；以及划定空腔部（...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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