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本发明涉及一种基于电子动态调控的晶硅表面飞秒激光选择性烧蚀方法，属于飞秒激光应用技术领域。本方法综合激光偏振参数与晶硅材料的晶格性质，通过有效调节飞秒激光线或者椭圆偏振与单晶硅的夹角，调控材料表面瞬时电子激发动态来控制晶硅表面周期性波纹微纳...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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