下载悬浮微机械臂系统的技术资料

文档序号:9807611

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一种悬浮微机械臂系统,其包括:电路衬底,所述衬底的至少第一层中具有导电走线,所述走线布置在独立区域中;位于所述电路衬底的表面上的抗磁层;邻近磁层的至少两个机械臂,所述机械臂可以在所述区域内移动,所述机械臂具有磁性并且可由磁场控制;以及电耦合...
该专利属于美国斯坦福国际研究院所有,仅供学习研究参考,未经过美国斯坦福国际研究院授权不得商用。

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