下载石墨烯器件的制作方法的技术资料

文档序号:9795359

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本发明提供一种石墨烯器件的制作方法,所述石墨烯器件的制作方法至少包括:提供第一衬底;在所述第一衬底上形成PVA层;在所述PVA层上形成PMMA层;在所述PMMA层上形成石墨烯器件;将所述第一衬底、所述PVA层、所述PMMA层和所述石墨烯器件...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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