下载涂胶系统的技术资料

文档序号:9794173

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本发明提供一种涂胶系统,该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路,其中,该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器;该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接,第二端与...
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