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一种时栅直线位移传感器制造技术
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下载一种时栅直线位移传感器的技术资料
文档序号:9793430
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本发明公开了一种时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺由定尺基体和布置于定尺基体上、下部的两个相同且相互平行的传感单元组成,传感单元包括激励线圈和感应线圈。激励线圈由多个正绕平面矩形螺旋激励线圈和多个反绕平面矩形螺旋激励线圈沿测量方向依次...
该专利属于重庆理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆理工大学授权不得商用。
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