下载一种红外屏蔽功能薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:9791805

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本发明公开了一种红外屏蔽功能薄膜的制备方法,包括:交流溅射硅铝旋转靶,在玻璃基板上磁控溅射Si3N4层;交流溅射掺铝氧化锌陶瓷,在Si3N4层上磁控溅射AZO层;直流溅射银平面靶,在AZO层上磁控溅射Ag层;交流溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶,在...
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